ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
2 Класс SCP 5 (0,5 мкм); внутренняя стенка колбы, площадь поверхности 200 см1: жидкостная
дисперсия (метод смывов) - счетчик частиц в жидкостях.
5.3 Общие данные о чистоте поверхности по концентрации частиц
Концентрации частиц в воздухе и на поверхности обычно связаны между собой. Это
соотношение зависит от многих факторов, таких как турбулентность воздушного потока, скорость
осаждения частиц, время осаждения, концентрация частиц в воздухе, а также характеристики
поверхности, например, электростатический заряд (А.2.4).
При определении чистоты поверхности по концентрации частиц следует учесть различные
факторы (приложение С), а также характеристики поверхности, которые могут влиять на результаты
контроля (приложение А).
6 Подтверждение соответствия
6.1 Общие принципы
Соответствие исследуемой поверхности требованиям класса SCP. указанного заказчиком,
проверяется путем проведения контроля и предоставления документации о результатах и условиях
данного контроля.
Порядок подтверждения соответствия (6.3) должен быть согласован заказчиком и
поставщиком до начала работы.
6.2 Контроль чистоты
Контроль чистоты должен проводиться в контролируемой среде с использованием
соответствующих методик и. по возможности, приборов, прошедших поверку (калибровку).
Могут применяться как прямые, так и косвенные методы, приведенные в приложении D.
Список описанных методов не является исчерпывающим. Допускается использовать альтернативные
методы испытаний сравнимой точности (по согласованию).
П р и м е ч а н и е - При использовании различных методов полученные результаты могут отличаться,
несмотря на их корректое применение.
Контроль рекомендуется проводить повторно.
Методика контроля и среда, в которой он проводится, должны быть согласованы заказчиком и
поставщиком.
В зоне контроля должны быть принять меры по снижению электростатического заряда, так как
он увеличивает осаждение частиц на испытуемую поверхность. В случаях, когда контролируемая
поверхностьнеявляетсяпроводящейилинезаземлена,возможноаккумулирование
электростатического заряда (приложение А), что может привести к изменению результатов контроля.
6.3 Протокол контроля
Результаты контроля для каждой поверхности должны быть оформлены документально и
содержать подтверждение соответствия или несоответствия требуемому классу SCP.
Протокол контроля должен включать, по крайней мере, следующее:
a) основные данные:
- дата и время проведения контроля;
- название/адрес организации, проводившей контроль:
- имя сотрудника(ов), проводившего(их) контроль:
b
) ссылки на:
• стандарты;
- руководства;
- правила;
- настоящий стандарт с указанием номера и года публикации, т. е. ГОСТ Р ИСО 14644-9-2013:
c) информацию о среде, в которой проводился контроль:
• внешние условия среды при отборе проб (температура, влажность, чистота);
- внешние условия среды во время проведения контроля (температура, влажность, чистота),
необязательно при прямом контроле:
- расположение (помещение и т. д.) точек отбора проб;
5