ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
5 Классификация
5.1 Определение класса ИСО SCP
Класс чистоты поверхности по концентрации частиц (класс SCP) в чистых помещениях или
связанных с ними контролируемых средах следует определять в соответствии с классификационным
числом N. представляющим собой максимально допустимую общую концентрацию частиц
определенных размеров на поверхности, С
зс
рд
(частиц/м* поверхности), для каждого размера частиц,
О- ст ^ к ^ . (1)
где Гзсрр - максимально допустимая общая концентрация частиц на поверхности, размер
которых больше или равен размеру D (частиц/м* поверхности). Значение Cjcpp следует округлять до
ближайшего целого числа с учетом не более чем трех значащих цифр:
N - классификационное число SCP. обозначающее класс чистоты поверхности (SCP) от 1 до 8
(класс SCP 1 - класс SCP 8), класс SCP N для заданных размеров частиц, мкм;
П р и м е ч а н и е - ^ применяется с основанием экспоненты 10для концентрации частиц с размером 1
мкм.
D - диаметр рассматриваемых частиц, мкм;
к - константа, принимаемая равной 1. мкм.
Примечания:
1. Класс SCP, основанный на концентрации частиц, может зависеть от времени и технологического
процесса из-за изменяющихся характеристик образования и переноса частиц.
2. Настоящий стандарт не рассматривает выбор и использование статистических методов, применяемых
при классификации и испытаниях в связи со сложностью статистических характеристик и недостаточностью
опубликованных данных.
Концентрация CX9fi по уравнению (1) является основой классификации. В таблице 1
представленыSCPклассыисоответствующиеиммаксимальныеконцентрациичастиц
рассматриваемых размеров на поверхности.
На рисунке 1 вышеуказанные классы представлены в графической форме.
Таблица 1- Принятые классы SCP для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред
Единица измерения концентрации - частица/м’’
Класс
SCP
г 0.05г о.1г 0.5
Размер частиц, мкм
г
1
252 10250г 1002 500
(10)
Класс(200)10020
SCP 1
Класс(2 000)1 000200
SCP 2
100(20)(10)
Класс(20 ООО)10 0002 0001000(200)(100)
SCP 3
Класс(200 000)10000020 00010 0002 0001000(200)(100)
SCP 4
Класс1000 000200 000100 00020 00010 0002 0001000(200)
SCP 5
Класс(10СЮ02 000 000 1000 000200 000100 00020 00010 0002 000
SCP 6 СОО)
Класс10 0002 000 000 1000 000200 000100 00020 000
SCP 7 ООО
Класс10 0002 000 000 1000 000 200 000
SCP 8 000
Значения, представленные в таблице 1, соответствуют концентрациям частиц определенных размеров.
Класс SCP соответствует количеству частиц с размерами, равными или больше заданного размера на 1 м7
поверхности (^зс?,с)-
Значения, приведенные в скобках, не следует использовать для классификации. В данном случае
следует выбирать другой размер частиц с соответствующей ему концентрацией.
Минимальная площадь при проведении испытаний должна быть статистически представительной для
всей рассматриваемой поверхности.
П р и м е ч а н и е - При классификации более низких (т. е. наиболее жестких) классов SCP следует
проводить большое число измерений для получения достоверных данных.
3