ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
световому импульсу, а не фактическому диаметру частиц. Результат измерения позволяет определить
распределение частиц по размерам в пределах определенного диапазона. Для измерений, проведенных в
воздухе идругих газах, применяются различные датчики, способные измерять частицы размерами от 0,05 мкмдо
2500 мкм (2,5 мм). Диапазон измерений датчика зависит от конструкции его оптического элемента. Более мелкие
частицы могут регистрироваться с помощью счетчика ядер конденсации (CNC). Перед измерением частицы
увеличиваются за счет конденсации на них жидкости. С помощью счетчика ядер конденсации могут быть
обнаружены частицы размером до 0.005 мкм. Однако вследствие конденсации жидкости данным методом
невозможно получить распределение частиц. Предел обнаружения частиц в жидкости при использовании
счетчика ядер конденсации составляет >0,05 мкм. Использование оптических счетчиков частиц (ОРС) позволяет
проводитьдискретные измерения частиц.
D.2.7.5 Метод подсчета частиц на основе затухания света
В обоих методах обнаружения частиц (затухания и отражения света) происходит изменение
интенсивности света, которое затем измеряется детектором и преобразуется в электрический сигнал. Метод на
основе затухания света применим при работе с частицами размерами 1 мкм и больше. В данном методе
детектор направлен прямо на источник света и измеряет размеры «теней» частиц в тот момент, когда они
пересекают луч.
D.2.7.6 Устройство сканирования поверхности отраженным светом
Такого рода сканеры особенно удобны для изучения поверхностей с очень низкой шероховатостью
(например, кремниевых пластин, стекла). Сфокусированный лазер сканирует поверхность с помощью луча под
определенным углом. Свет, отраженный непосредственно с поверхности, направляется в световую ловушку и
таким образом удаляется. Частицы на поверхности вызывают диффузное отражение света. Отраженный свет
регистрируется фотоумножителем и усиливается. Используя специальное оборудование для анализа, на основе
интенсивности отраженного света можно получить данные о размерах и форме частиц. Благодаря
синхронизации фактического положения лазера с источником рассеянного света можно определить
распределение частиц на поверхности. Предел обнаружения сканеров рассеянного света >0.05 мкм.
D.2.7.7 Гравиметрия
Количество частиц, осевших на поверхности или исследуемом объекте, определяют путем измерения
увеличения массы фильтра (разница в весе). Для этого фильтр взвешивают до и после фильтрации
промывочной жидкости с использованием высокоточных весов. Гравиметрия позволяет получить общую массу
осевших частиц, но не дает возможности определить распределение частиц по размерам на фильтре. Для того
чтобы провести точное взвешивание, фильтр следует подготовить и высушить. Чтобы избежать варьирования
полученных результатов из-за влияния окружающей среды, температура, влажность, чистота воздуха и процесс
измерений должны оставаться постоянными. Процесс измерений следует проводить в установленном порядке.
Так как отдельные частицы не могут быть определены гравиметрическим методом, этот метод используют
главным образом для определения общей нагрузки частиц на крупногабаритных объектах или объектах,
имеющих сложную форму. Предел измерений данного метода составляет приблизительно 0.1 мгна фильтр.
D.2.7.8 Атомно-силовая микроскопия (AFM)
Атомно-силовой микроскоп (АРМ) представляет собой версию сканирующего эондового микроскопа с очень
высоким разрешением (нм), более чем в 1000 раз лучшим, чем предел оптической дифракции. АРМ состоит из
микромасштабной консоли с острым наконечником (зондом) на ее конце, который используется для
сканирования поверхности образца. Когда кончик проходит в непосредственной близости от поверхности
образца, возникающие силы между зондом и образцом приводят к отклонению консоли. Как правило, отклонение
измеряют с помощью лазерного луча, отраженного от верхней части консоли в массив фотодиодов. Полученная
карта области представляет собой рельеф образца.
D.2.7.9 Анализ результатов контроля
Когда задачи (область контроля) или результаты взаимосогласованы, методики отбора проб и контроля
должны быть приведены в соответствующую форму, приняты, проанализированы и документально оформлены
заказчиком и поставщиком. Полученный в результате класс чистоты поверхности по концентрации загрязнений
следует использовать для дальнейшей классификации, особенно если необходимо учитывать сравнение
различных положений и систем или же результаты контроля с аналогичными методиками контроля (аэрозоли,
гидрозоли).
D.3 Документация по чистоте поверхности по концентрации частиц
Документация должна включать в себя всю необходимую информацию согласно 6.3. включая уровень
чистоты и соответствие чистого помещения, для обеспечения воспроизводимости измерений.
18