ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
X - размер частиц, D, мкм: Y- концентрация частиц на поверхности г D.частиц/ м*;
1- класс SCP 1; 2 - класс SCP 2; 3- класс SCP 3; 4 - класс SCP 4; 5 - класс SCP 5:
б- класс SCP 6; 7- класс SCP 7; 8 - класс SCP 8
Рисунок 1- Классы SCP
При определении класса SCP следует использовать сплошные линии на графике. Пунктирные
линии не используют.
П р и м е ч а н и е - Распределение частиц на поверхности, как правило, не соответствует нормальному
распределению, так как на него оказывают воздействие различные факторы, такие как шероховатость,
пористость, электростатический заряд, механизм осаждения и т. д. (приложение А).
ПРИМЕР:
Класс SCP 5 (1 мкм) означает, что на 1 м2данной поверхности может находиться не более 10ь
частиц с размерами г 1 мкм (D = 1). Класс SCP 5 (10 мкм) означает, что на 1 м: поверхности может
находиться не более 104 частиц с размерами г 10 мкм (D = 10). Аналогично любые другие размеры
частиц (D = х), концентрация которых лежит ниже линии, соответствующей классу SCP 5 (х мкм).
находятся в пределах данного класса SCP.
В ситуациях, когда размер частиц находится вне пределов системы классификации, и в
случаях, когда интерес представляет узкий диапазон размеров частиц или какой-либо определенный
размер, может применяться дескриптор {приложение В).
5.2 Обозначение класса чистоты
Класс чистоты поверхности по концентрации частиц (класс SCP) следует обозначать
следующим образом: класс SCP N (О мкм).
Обозначение класса SCP для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред
должно также включать следующее:
a) тип поверхности.
b
) площадь поверхности;
c) метод контроля.
Протокол испытаний должен включать подробное описание методов контроля, в том числе
методику отбора проб и характеристику контрольно-измерительных приборов.
Размеры контролируемых частиц должны быть согласованы заказчиком и поставщиком. Для
этих размеров частиц следует указать класс SCP.
ПРИМЕРЫ:
1 Класс SCP 2 (0,1 мкм); пластина или стеклянная подложка, площадь поверхности 310 см2;
счетчик частиц на поверхности.
4