ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т Р О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды
Ч а с т ь 9
Классификация чистоты поверхностей
по концентрации частиц
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 9.
Classilication of surface cleanliness by particle concentration
Дата введения — 2014-12-01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты твердых поверхностей по
концентрации частиц в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах.
Рекомендации по методам контроля даны в приложениях А - D.
Настоящий стандарт применим ко всем типам твердых поверхностей чистых помещений и
связанных с ними контролируемых сред, включая стены, потолки, полы, рабочие поверхности,
инструменты, оборудование и сам продукт.
Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (SCP) ограничена размерами
частиц от 0,05 мкм до 500 мкм.
Настоящий стандарт не рассматривает:
- требования к поверхностям и их чистоте, определяемые технологическими процессами;
- методы очистки поверхности;
- характеристики материалов;
- закономерности, относящиеся к силам притяжения, возникающим при взаимодействии
частицы с поверхностью, или процессам образования частиц, как правило, зависящим от времени и
выполняемого процесса;
- статистические методы для классификации и испытаний;
• другие характеристики частиц, такие как электростатический заряд, ионный заряд,
микробиологическая структура/состояние и т. д.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующий стандарт:
ИСО 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Термины и
определения (ISO 14644-6:2007 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6:
Vocabulary).
П р и м е ч а н и е - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие
ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному
указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
выпускам ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год Если заменен
ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую
версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный
стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с
указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный
стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое
дана ссыпка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный
стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не
затрагивающей эту ссылку.
Издание официальное
1