Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды
Часть 9
Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты твердых поверхностей по концентрации частиц в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах
Рекомендации по методам контроля даны в приложениях A – D
Настоящий стандарт применим ко всем типам твердых поверхностей чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, включая стены, потолки, полы, рабочие поверхности, инструменты, оборудование и сам продукт
Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (SCP) ограничена размерами частиц от 0,05 мкм до 500 мкм
Настоящий стандарт не рассматривает:
требования к поверхностям и их чистоте, определяемые технологическими процессами;
методы очистки поверхности;
характеристики материалов;
закономерности, относящиеся к силам притяжения, возникающим при взаимодействии частицы с поверхностью, или процессам образования частиц, как правило, зависящим от времени и выполняемого процесса;
статистические методы для классификации и испытаний;
другие характеристики частиц, такие как электростатический заряд, ионный заряд, микробиологическая структура/состояние и т
д