ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
Приложение В
(справочное)
Дескриптор для специфических размеров частиц
В.1 Применение
Для размеров частиц вне диапазона системы классификации может использоваться дифференциальной
дескриптор. Дескриптор может также использоваться для заданных диапазонов размеров частиц, которые
представляют особый интерес. В таком случае дескриптор гложет быть использован в дополнение к
классификации SCP.
В.2 Дескриптор для заданного диапазона размеров частиц
>
л :
Лт дескриптор (концентрация частиц с заданным диапазоном размеров частиц) для заданных
диапазонов размеров частиц может быть определен независимо или в дополнение к существующим классам
SCP. Дескриптор может быть применен к любому диапазону размеров частиц, представляющему особый
интерес.
Концентрация частиц на поверхности с3 в диапазонах размеров частиц uL ипредставляет собой
дифференциальную величину.
Дескриптор д „ для заданногодиапазона размеров частиц может быть выражен следующим образом:
Лв(.С<? D\j Dv) а,Ь ,(В.1)
гдес< - максимально допустимая поверхностная концентрация для заданного диапазона размеров частиц,
частиц/м’ поверхности:
Dy- нижний предел заданногодиапазона размеров частиц, мкм;
j ij
- верхний предел заданного диапазона размеров частиц, мкм;
а - метод измерений, применяемый для определения размеров частиц в заданном диапазоне;
b - исследуемая поверхность.
ПРИМЕР 1: Для концентрации частиц на металлической поверхности в диапазоне размеров частиц от 1
до 5 мкм требуемое значение - 10 000 частиц/м’ (1,0 частицам*). При измерении был использован оптический
микроскоп.
Обозначение будет следующим:
(10 ООО; 1:5) оптический микроскоп: металлическая поверхность
В случае, когда рассматриваются два и более диапазонов размеров, следует применять формулу (В.2). В
такомслучаеможно выразить следующим образом:
/С }1: Э ц :
OijiA /<Н:
Ь
2 I °2
Ь
(В-2)
С * Du’- ^ис
где с}[ - максимально допустимая концентрация частиц на поверхности для r-го диапазона размеров, частиц/м’
поверхности;
Du - нижний предел /-го диапазона размеров частиц, мкм;
XT^j- верхний предел /-го диапазона размеров частиц, мкм;
а - метод измерений, применяемый при определении размеров частиц в /-омдиапазоне;
Ь - исследуемая поверхность.
ПРИМЕР 2: При определении концентрации частиц на стеклянной пластине с одновременным
использованием сканера рассеянного света в диапазоне размеров частиц от 0.1 мкм до 0.5 мкм и оптического
микроскопа в диапазоне размеров частиц от 5 мкм и 20 мкм получены значения 9 000 частиц/м’ (0.9 частиц/см’) и
500 частиц/м’ (0,05 частиц/см’). Полученные значения находятся в максимально допустимых пределах 10 000
частиц/м’ и 500 частиц/м’ соответственно. Обозначение будет следующим:
г10 000; 0.1: 0.5тсканер рассеяг.кого света;стеклянная пластина
“ V 500;5;20) оптический микроскоп; Са- стеклянная пластина
В случае, если методы испытаний и/или испытуемые поверхности не были определены заранее,
обозначения а и Ь могут быть опущены. В данном случае дескриптор выражается следующим образом:
CgiDuD^.(В.З)
гдес3 - максимально допустимая концентрация частиц на поверхности для заданного диапазона размеров
частиц, частиц/м’ поверхности;
хз, - нижний предел заданногодиапазона размеров частиц, мкм;
верхний предел заданного диапазона размеров частиц, мкм.
В случае, когда интерес представляет только один размер частиц, верхний и нижний пределы из
формулы (В.З) могут быть использованы для обозначения границ размеров частиц, представляющих интерес и
согласованных с заказчиком.
ПРИМЕР 3: Для частиц с размером 5 мкм требуемое значение - 200 частиц/м’ (0.02 частиц/см’).
9