ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
Окончание таблицы D.2
Метод*
Предел для процесса удаления
Оценка пределов метода измерении
Определение концентрации
Распределение размеров
Анализ материала
Анализ формы
Определение положения
Мобильность
Независимость от типа поверхности
Доступность
Скорость проведения испытания
Г ибкость
Влияние на поверхность
Фильтрация
промывочной
среды с
последующим
гравиметри
ческим
анализом
(> 0.1 мкм)
++----++++-++-
Примечания
1 В настоящей таблице используются следующие обозначения: ++ наиболее подходящий; +
подходящий; - не подходит/не используется.
2 Возможность применения микроскопа или гравиметрического метода зависит от общего числа частиц,
которые могут быть удержаны фильтром. Размер частиц не является решающим фактором. Исходные значения,
определенные эмпирически: использование микроскопа невозможно, если количество частиц загрязнений на
поверхности фильтра превышает 3 мг (стандартный размер фильтра 47 мм) (ИСО 16232-2, ИСО 16232-3, ИСО
16232-4. ИСО 16232-5). Гравиметрический анализ не подходит для классификации чистоты поверхности в
зависимости от размеров частиц, так как он не может дать оценку отдельным частицам. Гравиметрический
анализ применяютдля определения общей массы загрязнений, удаленных с исследуемой поверхности.
’ Цифры вскобках указывают пределы обнаружения измерительных приборов.
D.2.4 Определение числа проб
Число точек отбора проб и общая площадь исследуемой поверхности определяют статистическую
достоверность результатов измерений. Так как на результаты измерений в целом влияют различные параметры
(например, особенности поверхности, выбранный метод измерения, чистота среды), число точек отбора проб и
число повторений измерений должны быть согласованы между заказчиком и исполнителем измерений.
Для определения числа отбираемых проб в целях достижения статистически достоверных результатов
измерений могут быть полезными соответствующие стандарты или руководства (например, ИСО 5725-2, ИСО/TS
21748, ИСО 10576-1).
D.2.5 Упаковка образцов
D.2.5.1 Упаковка образцов для дальнейшей проверки на наличие частиц
Образцы, отобранные для дальнейшей оценки вне пределов области происхождения частиц, должны
быть упакованы следующим образом:
a) Подготовка образца должна проводиться в зоне образования частиц персоналом в специальной
одежде для чистых помещений.
b
) Все действия с образцами персонал должен выполнять в новых, предварительно вымытых
нитриловых или латексных перчатках для чистых помещений.
c) При проведении процесса очистки важно дать время образцам остыть и высохнуть перед помещением
их в пакет или мешок.
d) Специальный мешок для чистых помещений из металлизированного полимера должен иметь чистоту
по крайней мере на один класс выше, чем предполагаемая чистота тестируемых образцов. Минимальная
толщина стенки мешка должна составлять 80 мкм. чтобы избежать разрывов.
e) Каждый образец должен быть упакован в двухслойный мешок (внутренний и внешний) (n. d).
1) Герметичные боксы, например, для кассет с пластинами или пластиковые контейнеры вакуумной
формовки, также могут применяться при условии, что они на один класс чище, чем образец.
д) Каждый образец следует упаковывать отдельно в заранее подготовленные мешки (п. d). чтобы
избежать отделения частиц за счет стирания или контакта с поверхностью упаковки.
h) Внутренний мешок следует сложить и запечатать клейкой лентой, чтобы избежать отделения частиц
во время распаковки, а также следует нанести на мешок индивидуальную этикетку.
i) Внешний мешок должен быть запечатан и запаян, чтобы избежать фальсификации, а также следует
16