ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
Т а б л и ц а D.1- Сравнение методов контроля, основанных на прямом обнаружении частиц на поверхности
Метод
Пределы
обнаружения
Определение
концентрации
Распределение
размеров
Анализ
материала
Анализ формы
Определение
положения
Мобильность
Независимость
от типа поверхности
Доступность
Скорость проведения
испытания
Гибкость
Влияние на
поверхность
Визуальный
осмотр
>25
мкм
+++++++
+++++++
>1.0
мкм
+++++++++++
+++++++
>0.5
мкм
+++++++++++
+++++++
>0.07
мкм
++++-++++-
-
-
++
-
++
>0,01
мкм
++++++++
--
-
-+
Оптический
микроскоп
(с обработкой
изображения)
Системы
косого,
отраженного.
бокового
освещения
(с обработкой
изображения)
Сканер
рассеянного
света
Сканирующая
электронная
микроскопия
(SEM)
Атомно
силовая
микроскопия
(AFM)
>0,01
мкм
++++++♦+
♦-+
П р и м е ч а й и е - В настоящей таблице используются следующие обозначения: ++ наиболее
подходящий; + подходящий; - не подходит/не используется.
Частицы, которые имеют не идеально круглую форму, следует измерять по их большей оси.
Эффективность оптических методов в обнаружении частиц на поверхности может быть повышена за
счет дополнительного использования специальных источников света, которые реагируют на особые свойства
материала (например, реакция материала на ультрафиолетовое и инфракрасное излучение). Так. например, при
использовании ультрафиолетовой лампы частицы, реагирующие на ультрафиолетовое излучение,
обнаруживаются гораздо лучше.
В спектре видимого света степень окраски частиц/отражения света частицей может быть использована
для дальнейшего определения частиц загрязнений.
D.2.3.3 Косвенные методы
D.2.3.3.1 Общие данные
Часто выполнить прямой подсчет частиц непосредственно на исследуемой поверхности бывает
невозможно по ряду причин. В данном случав следует провести предварительную подготовку образцов до
проведения испытания. Частицы удаляют с исследуемой поверхности (выборка) и помещают в соответствующий
субстрат/среду. Затем проводят измерения частиц с помощью подходящего для выбранного субстрата/среды
метода (IEST-STD-CC1246D).
Эффективность измерений снижается, если не все осевшие на поверхности частицы могут быть
отделены с контролируемой поверхности при применении косвенных методов.
Из-за проявления физических/химических свойств, таких как адгезия/когезия. электростатические силы и
т. д.. сила уноса частиц с поверхности может оказаться недостаточной, что приводит к снижению эффективности
измерения загрязнения поверхности частицами. Поэтому предпочтительными являются прямые методы.
Следует соблюдать осторожность в случав, если для удаления частиц с поверхности применяются
агрессивные методы, так как данные методы могут разрушать поверхность и образовывать дополнительные
частицы. Методов испытаний должен учитывать этот потенциальный эффект.
При использовании косвенных методов должно быть известно фоновое загрязнение частицами
промежуточной среды (например, промывочной среды).
13