ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины и определения, приведенные в ИСО 14644-
6:2007. а также следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 дескриптор для определенного диапазона размеров частиц (descriptor for specific
particle size range): Дифференциальный дескриптор, характеризующий уровень чистоты поверхности
(SCP) с учетом диапазона размеров частиц.
П р и м е ч а н и е - Дескриптор также может быть использован для частиц, диапазоны размеров которых
имеют особое значение, или частиц, размеры которых выходят за пределы классификации. В таком случае
дескриптор определяется независимо или дополнительно к чистоте поверхностей (классам SCP).
3.2 метод прямого контроля (direct measurement method): Оценка загрязнений без каких-
либо промежуточных этапов.
3.3 метод косвенного контроля (indirect measurement method): Оценка загрязнений, включая
промежуточные этапы.
3.4 твердая поверхность (solid surface): Граничный слой между твердым телом и
окружающей средой.
3.5 частица на поверхности (surface particle): Твердое и/или жидкое вещество, находящееся
в непосредственном контакте и распределенное по поверхности, за исключением пленок,
покрывающих всю поверхность.
П р и м е ч а н и е - Частицы удерживаются на поверхности благодаря химическим и/или физическим
взаимодействиям.
3.6 чистота поверхности по концентрации частиц, SCP (surface cleanliness by particle
concentration. SCP): Характеристика поверхности по концентрации частиц на ней.
П р и м е ч а н и е - Чистота поверхности зависит от свойств материала и конструкции, стрессовой
нагрузки (комплекса нагрузок, оказывающих влияние на поверхность), условий окружающей среды и других
факторов.
3.7 классификационное число, характеризующее чистоту поверхности по концентрации
частиц (surface cleanliness by particle concentration class. SCP class): Число, соответствующее
максимально допустимой концентрации частиц на поверхности (частиц/мг) для определенного
размера частиц (от 1 до 8).
3.8 класс чистоты поверхности по концентрации частиц, класс SCP (surface cleanliness by
particle concentration classification. SCP classification): Условное обозначение, указывающее на
максимально допустимую концентрацию частиц определенного размера (частиц/мг) на поверхности.
Обозначается как класс ИСО SCP N.
3.9 концентрация частиц на поверхности (surface particle concentration): Количество частиц
на единице площади поверхности.
4 Условные обозначения и сокращения
В настоящем стандарте используются следующие обозначения и сокращения:
AFM - атомно-силовая микроскопия:
CNC - счетчик ядер конденсации:
EDX - энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия;
ESCA - рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, электронная спектроскопия для
химического анализа;
ESD - электростатический разряд;
IR (ИК) - инфракрасная (абсорбционная спектроскопия);
ОРС - оптический счетчик частиц;
РЕТ - полиэтилентерефталат;
SEM - сканирующая электронная микроскопия;
SPC - чистота поверхности по концентрации частиц:
UV (УФ) - ультрафиолетовая спектроскопия;
WDX - длинноволновая дисперсионная рентгеновская спектроскопия.
2