ГОСТ Р ИСО 14644-9 — 2013
Таблица D.2 - Сравнение методов, основанных на косвенном обнаружении частиц на поверхности
Метод*
Предел для процесса удаления
Оценка пределовметода измерений
5
§
се
6
5
г
8
S
1
1
1
Распределение размеров
Анализ материала
Анализ формы
§
I
с
0
§
©
1
8
©
9
&
о
Мобильность
Независимость от типа поверхности
Доступность
Скорость проведения испытания
Гибкость
Влияние на поверхность
0.2 > 1
мкм мкм
+♦++---
+++++++++-
Исследование
промывочной
среды
(жидкость/ газ)
счетчиками
частиц
(> 1 мкм)
Фильтрация
промывочной
среды или
применение
импактора с
последующим
анализом под
микроскопом
(> 0.5 мкм)
0.2 > 1
мкм мкм
+*+++++-
+++++-++-
Исследование
промывочной
среды с
помощью
оптических
счетчиков
частиц
(заключается в
смыве частиц с
поверхности и
пропускание их
через
оптический
счетчик)
{> 0.05 мкм)
0.2 >0.2
мкм мкм
+♦++
-
--
++♦♦+++++-
Исследование
газообразной
среды с
помощью
оптических
счетчиков
частиц
(заключается в
сдувании
частиц с
поверхности и
пропускании
через
оптический
счетчик)
(> 0.05 мкм)
0.3 >0.3
мкм мкм
++++
-
-
-
+++++++++-
15