ГОСТ Р ИСО 14644-3— 2007
3.5 Статическое электричество
3.5.1 время разряда (discharge time): Время, необходимоедля уменьшения напряжения до началь
ного уровня (положительного или отрицательного).
3.5.2 напряжение смешения (offsetvoltage): Электрический потенциал, накапливающийся на перво
начально незаряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный воз
дух окружающей среды.
3.5.3 рассеивание статического электричества (static-dissipative property): Снижение количества
электростатического электричества на рабочей поверхности или поверхности продукта вследствие прово
димости или других механизмов до установленного значения или нулевого уровня.
3.5.4 поверхностное напряжение (surface voltage level): Положительный или отрицательный элект
рический заряд на рабочей поверхности или поверхности продукта, накапливаемый при использовании
соответствующегооборудования.
3.6 Контрольно-измерительное оборудование и способы отбора проб
3.6.1 фотометр аэрозолей (aerosol photometer): Устройство, для определения массовой концентра
ции аэрозольных частиц, работа которого основана на принципе рассеивания света.
3.6.2 неизокинетический отбор проб (anisokinetic sampling): Условие отбора проб, при котором
средняя скорость воздуха, поступающего в пробоотборник, значительно отличается от средней скорости
однонаправленного потока воздуха вточке отбора пробы.
3.6.3 каскадный импактор (cascade impactor): Устройстводля отбора проб, в котором накапливают
ся частицы, отбираемые из аэрозоля, на серии накопительных пластин, используя принцип импакции (осаж
дения).
П р и м е ч а н и е — Через каждую последующую накопительную пластину поток аэрозоля проходит с
большей скоростью, чем через предыдущую, в результате чего на ней осаждаются более мелкие частицы, чем на
предыдущей накопительной пластине.
3.6.4 счетчик ядер конденсации (condensation nucleus counter. CNC): Устройство, которое позво
ляет увеличивать размеры ультрамелкой частицы за счет эффекта конденсации с целью их последую
щего счета с использованием оптических методов счета частиц.
3.6.5 эффективность счета (counting efficiency): Отношение полученной концентрации частиц в оп
ределенном диапазоне размеров кдействительной концентрации таких частиц.
3.6.6 дифференциальный анализатор подвижности (differential mobility analyzer, DMA): Устрой
ство. позволяющее получить распределение частиц по размеру, работа которого основана на принципе
подвижности частиц вэлектрическом поле.
3.6.7 секция диффузионной батареи (diffusion battery element): Элемент многоступенчатого
устройства для сортировки частиц по размерам, использующий эффект диффузии для удаления наиме
ньших частиц из потока аэрозоля.
3.6.8 дискретный счетчик частиц (discrete-partide counter. DPC): Устройство, для счета частиц в
определенном объеме воздуха в зависимости от их размера.
3.6.9 фоновый счет (false count, background noise count, zero count): Результат счета частиц диск
ретным счетчиком, получаемый при отсутствии частиц, вызванный влиянием внешних и внутренних элект
ронным наводкам.
3.6.10 расходомер с раструбом, расходомер (flowhood with flowmeter): Устройство, полностью на
крывающее фильтр или диффузор, с оборудованием для прямого измерения расхода воздуха через
каждый финишный фильтр или воздушный диффузор в чистом помещении или чистой зоне.
3.6.11 изоаксиальный отбор проб (iso-axial sampling): Отбор проб, при котором направление воз
душного потока на входе в пробоотборник совпадает с направлением однонаправленного потока, подле
жащего отбору.
3.6.12 изокинетический отбор проб (isokinetic sampling): Отбор проб, при котором средняя ско
рость воздуха, входящего в пробоотборник, равна средней скорости однонаправленного потока в точке
отбора.
3.6.13 устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц (particle size cutoff device):
Устройство, помещаемое на входе вдискретный счетчик частиц или счетчикядер конденсациидля удале
ния частиц размером менее установленного.
4