ГОСТ Р ИСО 14644-3— 2007
Приложение С
(справочное)
О борудование д ля проведения испы таний
В настоящем приложении установлены требования к из мерительному оборудованию, которое приме
няется при использовании рекомендованных методов, приведенных в настоящем стандарте.
В таблицах С.1 — С.29 приведены минимально необходимые требования для каждого вида оборудования.
Все виды оборудования перечислены и пронумерованы в соответствии с приложением В. т.е. прибор под номе
ром С.1 используется в методе испытаний (контроля), описанном в В.1. Лица, ответственные за планирование
испытаний, могут обратиться к приложению А. в котором приведены рекомендуемые методы, средства измере
ний и последовательность испытаний, а затем к приложению С. где указано оборудование, необходимое для этих
испытаний. Измерительное оборудование должно быть выбрано а соответствии с соглашением между заказчи
ком и исполнителем.
Это приложение является справочным и не должно препятствовать использованию улучшенных видов
оборудования, если таковые имеются. Альтернативные виды измерительного оборудования могут быть использо
ваны по соглашению между заказчиком и исполнителем.
С.1 Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации
С.1.1 Дискретный счетчик частиц, в основе работы которого лежит принцип рассеяния света — это прибор,
позволяющий проводить счет отдельных взвешенных в воздухе частиц, определять их размер и выдавать данные о
размере частиц, под которым понимается эквивалентный оптический диаметр.
Т а б л и ц аС.1 — Требования к параметрам дискретного счетчика частиц, работающего на принципе светорас
сеяния
Параметр
Змачение/хараосристика
Чувствительностьфазрешенив,
мкм
От 0.1 до 5 с разрешением размера не более 10 %
Ошибка счета погрешность. %
± 20 значения концентрации частиц
Периодичность калибровки, мес
Не более 12
Эффективность счета. %
(50 ± 20) при минимальном пороговом размере и (100 ± 10) для
частиц, размер которых не менее чем в 1.5 раза превышает мини
мальный пороговый размер
Нижний предел концентрацииЧастоталожных срабатываний счетчика незначительна по
сравнению с действительно ожидаемой минимальной скоростью
счета. Низкая скорость счета должна быть равна нулю частиц за опре
деленное время (например, ни одной частицы за 5 мин.)
Верхний предел концентрацииВ два раза больше, чем предельная концентрация для данного
класса чистоты чистого помещения, но не превышает 75 % максималь
ной концентрации, рекомендованной изготовителем
Если счетчик имеет разрешение размера частицы более 10 %, то это может привести к изменению
значения счета частиц на порядок.
С.2 Определение концентрации ультрамелких аэрозольных частиц
С.2.1 Счетчик ядер конденсации — дискретный счетчик частиц, который считает все капельки, образуемые
при конденсации пересыщенного пара на частицах пробы. Измеряется суммарная концентрация всех частиц,
размеры которых не менее минимального размера, определяемого чувствительностью счетчика.
Т а б л и ц а С.2 — Требования к счетчику ядер конденсации
ПараметрЗмачсние/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м3
Концентрация до 3.5-10®
Чувстеительносты’разрешение, мкм
Зависит от применения: например 0.02
Ошибка счета погрешность.%
± 20 при минимальном пороговом размере
38