ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
В.6 Испытание целостности установленной системы фильтрации
В Н И М А Н И Е . Испытание с использованием аэрозоля может привести к неприемлемому уровню загряз
нений частицами или молекулярному загрязнению внутри чистого помещения. Применение некоторых контрольных
аэрозолей может при определенных условиях быть опасным для здоровья. Настоящий стандарт не рассматрива ет
вопросы безопасности применения приведенных методов испытаний. Ответственность за установление и
соблюдение мер безопасности, определение степени риска и соблюдение требований нормативных документов
лежит на пользователе. Соответствие требованиям безопасности должно быть проверено до начала практичес
кого использования настоящего стандарта.
В.6.1 Область применения
В.6.1.1 Общие положения
Данный вид испытаний предназначен для подтверждения того, что монтаж системы фильтрации выполнен
надлежащим образом, целостность фильтров не нарушена и в процессе эксплуатации не появились утечки в
системе фильтрации воздуха. Настоящий метод частично заимствован из IEST-RP-CC034.2 (18] и переработан. В
процессе испытаний проверяется отсутствие утечек в соответствии с требованиями к классу чистоты чистого поме
щения или чистой зоны. Метод испытаний заключается в подаче на вход фильтра контрольного аэрозоля и либо
одновременном сканировании после фильтра в зоне самого фильтра и элементов его крепления, либо в одно
временном отборе пробы в воздуховоде после фильтра. В процессе испытаний проверяется целостность всей
системы фильтрации, включая фильтровальный материал, раму, элементы крепления и герметизации. Испыта
ние целостности установленной системы фильтрации не следует путать с определением эффективности отдель
ных фильтров на заводе-изготовителе. Испытание целостности установленной системы фильтрации выполняет ся
в построенном или оснащенном состояниях чистого помещения при аттестации новых или при повторной
аттестации существующих чистых помещений, а также после замены финишных фильтров.
В В.6.2 и В.6.3 приведены две методики испытаний для фильтров, установленных в потолке, стенах или в
оборудовании; в В.6.4 — для фильтров, установленных в воздуховодах. Испытания могут быть проведены с ис
пользованием фотометра аэрозолей (см. В.6.2) или дискретного счетчика частиц (см. В.6.3). Результаты испыта
ний. полученные этими методами, не допускают прямого сопоставления.
В.6.1.2 Применение фотометра аэрозолей
Фотометр аэрозолей может использоваться для проведения испытаний;
a) в чистых помещениях (чистых зонах) с небольшими системами вентиляции и кондиционирования или
при расположении точек ввода контрольных аэрозолей в воздуховоде, позволяющим обеспечить высокую концен
трацию частиц на входах фильтров;
b
) систем фильтрации, имеющими интегральное значение коэффициента проскока по размеру наиболее
проникающих частиц (точка MPPS), равное или превышающее 0.003 %.
c) чистых помещений, для которых последующее отделение масел, входящих в контрольные аэрозоли и
осевших на фильтрующем материале или стенках воздуховодов при проведении испытаний, не опасно для про
дукции или процессов, проводимых в чистом помещении.
П р и м е ч а н и е — При применении фотометра аэрозолей необходимая концентрация частиц в
100 — 1000 раз превышает концентрацию частиц в случае работы с дискретным счетчиком частиц (для того же
класса фильтров).
В.6.1.3 Применение дискретного счетчика частиц
Метод дискретного счетчика частиц (см. В.6.3) имеет более высокую чувствительность и приводит к меньше
му загрязнению системы фильтров, чем при использовании фотометра аэрозолей. Он может применяться для
испытаний;
a) чистых помещений с малыми и с большими системами вентиляции и кондиционирования;
b
) систем с фильтрации, имеющими различные интегральные значения коэффициента проскока по разме
ру наиболее проникающих частиц (точка MPPS), вплоть до 0.000005 % и менее;
c) чистых помещений, для которых последующее отделение масел, входящих в контрольные аэрозоли и
осевших на фильтрующем материале или стенках воздуховодов при проведении испытаний недопустимо, и для
которых рекомендуется использовать аэрозоли с твердыми частицами.
В.6.2 Методика испытания целостности установленной системы фильтрации сканированием с ис
пользованием фотометра аэрозолей
В.6.2.1 Общие положения
Подготовительные этапы описаны в В.6.2.2 — В.6.2.5, методика испытаний — в В.6.2.6. критерии приемле
мости и рекомендации по ремонту — в В.6.2.7 и В.6.6 [14]. (15]. (18].
В.6.2.2 Выбор контрольных аэрозолей
В воздух, идущий к фильтру и содержащий естественные аэрозоли, следует добавить полидисперсные аэро
золи для достижения требуемой концентрации частиц на входе фильтров. Средний эквивалентный диаметр
частиц при этом должен быть в пределах от 0.5 до 0,7 мхм (стандартное отклонение — 1,7).
22