ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Ч а с т ь 3
Методы испытаний
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods
Дата введения — 2008— 10— 01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает метрологические характеристики и методы испытаний чистых по
мещений и чистых зо
*1
для определения класса чистоты. В стандарте приведены методы испытаний для
двух типов чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправленным потоком возду
ха) идля трех состояний чистого помещения (построенное, оснащенное, эксплуатируемое).
Стандарт устанавливает требования коборудованию и методикам испытаний.Для тех случаев, когда
особенности чистого помещения или чистой зоны оказывают влияние на метод испытаний, предложены
альтернативные методики. Для некоторых видов испытаний могут использоваться различные методики и
типы оборудования. Альтернативные методы, не включенные внастоящий стандарт, могут применяться по
соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не всегда обеспечивают эквива
лентность измерений.
В настоящем стандарте не рассматриваются методы испытаний продукции и технологических про
цессов в чистых помещениях или изолирующий устройствах.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ИСО 7726:1998 Эргономика термальной среды. Приборыдля измерения физических величин
ГОСТ ИСО 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
ГОСТ Р ИСО 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2.
Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1
ГОСТ Р ИСО 14644-4:2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4.
Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 Общая часть
3.1.1 чистое помещение (cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация
аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление,
выделение и удержание частиц внутри помещения, и в котором, по мере необходимости, контролируются
другие параметры, например, температура, влажность и давление (ИСО 14644-1 (пункт 2.1.1)).
Издание официальное
2 -7 5 2
1