ГОСТ Р ИСО 14644-3— 2007
Приложение В
(справочное)
Методы испытаний
В.1 Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации чистых поме
щений
В.1.1 Область применения
Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговы
ми значениями размеров от 0,1 до 5 мхм
Концентрация частиц может определяться в любом из трех состояний чистого помещения, построенном,
оснащенном и эксплуатируемом.
Определение концентрации частиц выполняется при определении или подтверждении класса чистоты
чистого помещения или чистой зоны в соответствии с ИСО 14644-1 или при проведении периодических испыта ний
в соответствии с ИСО 14644-2. Настоящая методика, приведенная в В.1 (приложение В), заимствована из IEST-G-
CC1001:1999 (11) и переработана.
В.1.2 Методика испытаний
В.1.2.1 Общие положения
Определение числа точек отбора проб, расположение этих точек, определение класса чистых зон и
необходимое количество данных проводят в соответствии с ИСО 14644-1. В 8.1 приводятся стандартные методы
отбора проб воздуха в каждой точке отбора проб. Другое методы с эквивалентной точностью, обеспечивающие
получение эквивалентных данных, могут использоваться по соглашению между заказчиком и исполнителем.
Если не согласован другой метод, то следует применять стандартный метод, приведенный в настоящем
приложении.
П р и м е ч а н и е — Более подробные данные об испытаниях, проводимых в чистых помещениях с
использованием дискретных счетчиков частиц, информация о стандартах, касающихся дискретных счетчиков
частиц, а также стандартные методы испытаний приведены в [2], (3J. £4], [11], [23]. [24].
В.1.2.2 Методика счета аэрозольных частиц
Пробоотборное отверстие дискретного счетчика частиц (далее — счетчика) помещают в место отбора про
бы. устанавливают скорость отбора пробы и выбирают пороговые размеры частиц в соответствии с ИСО 14644-1.
В зонах с однонаправленным потоком применяется изокинетический пробоотборник [1]. Скорость воздушного
потока на входе в пробоотборник не должна отличаться от скорости отбираемого воздуха более чем на 20 %. Если
это невозможно, то входное отверстие пробоотборника следует направить навстречу преобладающему направ
лению потока воздуха. В точках, где скорость потока воздуха не контролируется или не предсказуема (например,
в случае кеоднонаправленного потока), входное отверстие пробоотборника следует направить вертикально вверх.
Соединительная трубка, соединяющая пробоотборник и измерительный узел счетчика, должна быть как можно
короче. Для отбора проб, содержащих частицы с размерами равными или превышающими 1.0 мкм. длина и
диаметр соединительной трубки не должны превышать значений, рекомендуемых изготовителем.
Ошибка при отборе пробы из-за потери мелких частиц за счет диффузии и больших частиц за счет осажде
ния (импакции) не должна превышать 5 %.
В.1.3 Оборудование для счета аэрозольных частиц
Дискретный счетчик частиц [см. С.1 (приложение С)] должен оценивать размеры частиц и считать частицы,
дифференцируя по их размерам, соответствующим классу рассматриваемого чистого помещения. Счетчик час
тиц должен показывать на экране или регистрировать результаты счета частиц, размеры которых соответствуют
установленному диапазону, а также иметь действующий сертификат калибровки, как это указано в С.1 (приложе ние
С).
В.1.4 Протокол испытаний
При проведении классификации или аттестации чистого помещения (чистой зоны) в дополнение к пунктам
протокола испытаний, указанным в разделе 5, по соглашению между заказчиком и исполнителем, указываются
следующие данные:
a) фоновый шум счетчика:
b
) тип испытаний: классификация или аттестация (мониторинг);
c) класс чистого помещения (чистой зоны);
d) размеры частиц и результат счета;
в) расход забираемого потока воздуха на входе счетчика и внутри измерительной камеры счетчика:
f) расположение точек отбора проб;
14