ГОСТ Р ИСО 14644-3— 2007
В. 10.2.2 Методика измерения генерации ионов
В.10.2.2.1 Общие положения
Данный вид испытаний выполняется с целью определения характеристик генераторов ионов обоих знаков.
Испытание состоит в измерении времени разряда и напряжения смещения. Измерение времени разряда вы
полняется для оценки эффективности устранения статического заряда при использовании генератора ионов.
Измерение напряжения смещения выполняется для оценки дисбаланса положительных и отрицательных ионов в
потоке воздуха, ионизированном генераторами ионов. Этот дисбаланс может привести к нежелательному
остаточному напряжению.
Для проведения измерений нужны токопроводящие контрольные пластины, электростатический вольтметр,
таймер и источник питания. Иногда устройство, включающее в себя эти части, называют регистратором заряда
пластины.
В. 10.2.2.2 Измерение времени разряда
Измерения выполняются при помощи контрольных пластин {изолированные проводящие пластины) с из
вестной емкостью (например. 20 пФ). В начале испытаний контрольные пластины заряжаются до известного
положительного или отрицательного напряжения от источника питания.
Измеряются изменения статического заряда пластин при их нахождении в потоке воздуха, ионизованного
генераторами ионов обеих полярностей. Изменение напряжения на пластинах с течением времени определяет ся
при помощи электростатического вольтметра и таймера.
Время разряда определяется как время, необходимое для того, чтобы статическое напряжение на пласти
не уменьшилось до 10% начального значения.
Время разряда определяется как для положительно, так и для отрицательно заряженных пластин.
Расположение контрольных точек и критерии приемлемости согласовываются заказчиком и исполни
телем.
В. 10.2.2.3 Измерение напряжения смещения
Измерение напряжения смещения выполняется при помощи аналогичной контрольной пластины, установ
ленной на изолятор. Заряд изолированной пластины измеряется электростатическим вольтметром.
Перед проведением измерений пластина должна быть заземлена, чтобы снять остаточный заряд. Следует
убедиться, что напряжение на пластине равно нулю.
Измерение напряжения смещения проводится при помещении пластины в ионизованный поток воздуха,
после того как показания вольтметра станут стабильными.
Допустимое значение напряжения смещения, вызванное генераторами ионов, зависит от чувствительности
к статическому электричеству предметов, находящихся в рабочей зоне. Допустимое значение напряжения смеще
ния следует установить в соглашении между заказчиком и исполнителем.
В.10.3 Оборудование для контроля статического электричества и генерации ионов
При проведении контроля статического электричества используются:
a) электростатический вольтметр или измеритель электростатического поля для измерения поверхностно
го напряжения.
b
) высокоомный омметр для измерения способности сохранять и рассеивать статическое электричество.
При контроле генерации ионов используются:
c) электростатический вольтметр или измеритель электростатического поля и проводящие контрольные
пластины или регистратор заряда пластин.
В.10.4 Протокол испытаний
По соглашению между заказчиком и исполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в
протоколе испытаний указывают следующее:
a) метод и условия испытаний:
b
) данные об используемых приборах и их калибровке:
c) температуру, влажность и другие параметры окружающей среды;
d) точки проведения измерений;
e) состояние чистого помещения;
f) другие данные, относящиеся к испытаниям.
В.11 Контроль осаждения частиц
В.11.1 Общие положения
Данный метод предусматривает определение числа частиц с оценкой их размеров, которые могут осесть на
продукты или на поверхности, находящиеся в чистом помещении. Осевшие частицы собираются на пластины с
характеристиками, аналогичными тем. которые имеют критические поверхности. Определение числа и размеров
этих частиц выполняется при помощи оптического или электронного микроскопов или сканирующих поверхности
проборов. Для получения данных об интенсивности осаждения может использоваться фотометр для осажден ных
частиц (седиментометр). В протоколе указывают данные о массе или числе осевших частиц на единицу
поверхности в единицу времени.
В.11.2 Методика исследования осаждения частиц
В.11.2.1 Сбор частиц на контрольные пластины
33