ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
Если кривая зависимости эффективности счета от размера частицы для дискретного счетчика частиц или
счетчика ядер конденсации проходит справа от штрихованной области на графике на рисунке В. 1. то такие счетчи ки
не могут быть использованы для определения U-дескриптора. Если кривая проходит слева от заштрихованной
области, го эффективность счета может быть уменьшена путем модификации счетчиков, заключающейся в при
менении специального устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц, как это описано в В.2.1.3. В этом
случае значение эффективности счета модифицированных счетчиков будет равна произведению величины
эффективности счета немодифицированных с четчиков и коэффициента относительного пропускания приме
няемого устройства.
В.2.1.3 Устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц
Для достижения желаемой эффективности счета , необходимой для определения U-дескриптора.
устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц, может быть прикреплено к входному отверстию
пробоотборника дискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации, чья кривая эффективности счета
проходит слева от заштрихованной области на графике (см. рисунок В.1). Кривая эффективности счета для
счетчиков, оснащенных пробоотборником с устройством, ограничивающим пропускание мелких частиц, изме
нится таким образом, что будет проходить, ках это и требуется, через заштрихованную область на графике (см.
рисунок В.1).
Устройство, ограничивающие пропускание мелких частиц, удаляет частицы с размерами менее установлен
ных. уменьшая их пропускание определенным и воспроизводимым образом. Допускается применение других
устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц, если их характеристики не ниже требуемых характерис
тик по пропусканию. В качестве примера применяемых устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц,
можно назвать секции диффузионных батарей и виртуальные имлакторы. Пропускание зависит от физических
свойств частиц, конструкции устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц, и скорости потока воздуха.
Необходимо внимательно следить за тем. чтобы устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц, приме
нялось при таких скоростях воздушного потока, для которых оно было рассчитано, и было установлено таким
образом, чтобы избежать накопления электростатического заряда. Накопление электростатического заряда можно
свести к минимуму путем надежного заземления устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц.
В.2.2 Методика определения концентрации ультрамелких частиц
Устанавливается пробоотборник дискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации (с устрой
ством. ограничивающим пропускание мелких частиц, если эго необходимо). В каждой точке отбора проб произво
дится отбор воздуха требуемого обьема и выполняется счет частиц в соответствии с ИСО 14644-1 (приложение В)
или ИСО 14644-2. Отбор пробы при низкой скорости потока воздуха при отборе или длинной трубке пробоотбор
ника может привести к значительным потерям ультрамелких частиц из-за диффузии. Допустимая погрешность
при отборе пробы из-за диффузии ультрамелких частиц, не должна превышать 5%. Вычисляется величина U-
дескриптора для заданного диапазона размеров ультрамелких частиц, согласованного заказчиком и исполни
телем. и вносятся данные в протокол. Если необходимо получить информацию о стабильности концентрации
ультрамелких частиц, то выполняется не менее трех измерений в таких точках и с такими интервалами времени,
которые согласованы заказчиком и исполнителем.
В.2.3 Приборы для счета ультрамелких частиц
Для счета ультрамелких частиц применяют дискретные счетчики частиц с характеристиками, описанными в
С.З (приложение С), или счетчики ядер конденсации с характеристиками, описанными в С.2 (приложение С).
Дискретный счетчик частиц должен иметь эффективность счета, равную 50 %, для ультрамелких частиц
согласно ИСО 14644-1 (приложение В), и возможность точного определения размеров частиц как минимум
до 1 мкм. Эффективность счета частиц предельного размера для дискретных счетчиков частиц или счетчиков
ядер конден сации должна быть определена в соответствии с графиком на рисунке В.1. Если счетчик способен
обнаруживать частицы с размерами менее установленных, то следует использовать устройство,
ограничивающее пропускание мелких частиц, с характеристиками пропускания согласно В.2.1.3.
В.2.4 Протокол испытаний
При определении U-дескриптора в чистом помещении, по соглашению между заказчиком и исполнителем,
в протокол, как это указано в разделе 5 настоящего стандарта, должны быть внесены следующие данные:
a) данные, идентифицирующие дискретный счетчик частиц или счетчик ядер конденсации и устройство,
ограничивающее пропускание мелких частиц, если оно используется: данные об их калибровке;
b
) предельный размер ультрамелких частиц, принятый для определения U-дескриптора;
c) фоновый шум для дискретного счетчика частиц, если он используется:
d) необходимые характеристики устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц;
e) тип испытаний: определение U-дескриптора или мониторинг;
f) класс чистоты чистого помещения;
д) параметры входного отверстия пробоотборника и расход воздуха при отборе пробы;
h) положение точки (точек) отбора проб:
16