ГОСТ Р ИСО 14644*3— 2007
Контрольная пластина должна быть помещена в плоскости критической поверхности. Электрический потен
циал контрольной пластины и контролируемой поверхности должен быть одинаковым. Работа с контрольной
пластиной включает в себя следующие этапы:
a) проверку правильности функционирования чистого помещения;
b
) проверку каждой пластины и очистку с целью уменьшения числа частиц на ев поверхности до минимально
возможного уровня; определение фоновой концентрации каждой пластины;
c) 10 % пластин следует использовать в качестве фоновых (пластин сравнения): работа с этими пластинами
должна проводиться в таком же порядке, что и с контрольными пластинами, но они не подлежат экспонированию;
d) перемещение всех контрольных пластин в контрольные точки с соблюдением мер предосторожности от
загрязнения поверхностей пластин:
e) экспонирование контрольных пластин в течение интервала времени до 48 ч в зависимости от типа чистого
помещения, особенностей его эксплуатации и используемых приборов для счета частиц. При необходимости
время экспонирования может изменяться так. чтобы получить число частиц, осажденных на поверхность пластин,
достаточное для получения статистически представительных данных в соответствии с требованиями заказчика;
f) сбор экспонированных пластин (в обратном порядке) и обеспечение их хранения в закрытых контейнерах
так. чтобы предохранить их от дальнейшего загрязнения.
В.11.2.2 Определение числа и размера собранных частиц
Число и размеры частиц, осажденных на контрольные пластины, определяется для получения воспроизво
димых данных, которые могут использоваться для оценки чистоты контролируемой зоны.
При работе с оптическим микроскопом для оценки размера частиц может использоваться калиброванная
линейная или круговая координатная сетка. При работе с электронным микроскопом может использоваться ка
либрованная сетка (решетка) с известным линейным расстоянием, чтобы установить соотношение между вообра
жаемым и реальным размерами. При использовании сканирующего прибора следует использовать инструкцию
изготовителя в отношении калибровки размеров. Данные о числе частиц, полученные при анализе какой-либо
части пластины, могут экстраполироваться на всю площадь пластины (статистический счет). Экстраполирование
может выполняться в соответствии с (4].
a) Определяют число и размеры на всех контрольных пластинах, включая фоновые пластины. Сортируют
частицы по размерам (диаметрам) на всех пластинах и строят их распределение по размерам;
b
) Определяют концентрацию
D
осевших частиц на каждой пластине по формуле:
где
N.
— суммарная концентрация частиц на контрольной пластине;
Nb
— число частиц, размером не менее определенного минимального размера, на контрольной пластине
после ее подготовки к работе до экспонирования в чистом помещении (для определения фоновой кон
центрации частиц):
Аш
— площадь контрольной пластины, см2.
c) Определяют среднюю концентрацию частиц на контрольной пластине;
d) Определяют прирост поверхностной концентрации частиц при экспонировании вычитанием фоновой
концентрации частиц из суммарной концентрации частиц на пластине после экспонирования. Делят прирост
концентрации частиц на время экспонирования. Результатом является интенсивность осаждения частиц, выра
женная числом осевших частиц на 1 см2 поверхности в единицу времени;
e) Записывают среднее значение интенсивности осаждения частиц и ее стандартное отклонение.
В.11.3 Оборудование для исследования осаждения частиц
В.11.3.1 Выбор материала для демонстрационной пластины
В зависимости от определяемого размера частиц и используемых приборов могут использоваться следую
щие материалы:
a) микропористые мембранные фильтры;
b
) двусторонняя адгезирующая лента;
c) чашки Петри:
d) чашки Петри с полимерным покрытием контрастного цвета (черного), например, полиэфирная смола;
e) фотопленка (пластины);
f) пластины для микроскопа (гладкие или с напылением металлической пленки):
д) стеклянные или металлические зеркальные пластины;
h) заготовки полупроводниковых пластин;
i) шаблон для фотолитографии.
Контрольные пластины должны быть достаточно гладкими, чтобы обеспечить четкое различение частиц,
осевших на пластины. Используемые приборы должны иметь достаточную разрешающую способность, чтобы
обеспечить счет частиц наименьших размеров согласно установленным требованиям.
34