ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
i) установленная схема отбора проб при проведении испытаний;
j) состояние чистого помещения;
k) другие данные, существенные для испытания.
8.3 Определение концентрации аэрозольных макрочастиц
В.3.1 Область применения
Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с поро
говым размером более 5 мкм (макрочастиц). Методика, приведенная в настоящем стандарте, взята из
IEST-G-CC1003:1999 [13] и переработана. Определение концентрации частиц может проводиться в чистом поме
щении или чистой зоне в любом из трех состояний чистого помещения или чистой зоны. Определение концентра
ции макрочастиц в чистых помещениях (чистых зонах) выполняется в соответствии с ИС014644-1 (приложением Е)
или при проведении периодического контроля в соответствии с ИСО 14644-2. Особое внимание должно быть
уделено получению и обращению с пробой, чтобы свести к минимуму потери макрочастиц во время таких опера
ций.
В.3.2 Обращение с пробой
Работа с макрочастицами требует внимательного отбора пробы и обращения с ней. Требования, предъяв
ляемые к системам, которые могут быть использованы для изокинетического и анизокинетического отбора проб и
доставки частиц до места их регистрации, приведены в [1] и [13].
В.3.3 Методики определения концентрации макрочастиц
В.3.3.1 Общие положения
Существует две основные группы методов измерения макрочастиц. Нельзя сравнивать данные, получен
ные при использовании разных методов измерения. Поэтому поиск корреляции между данными, полученными
разными методами, может оказаться невозможным. Информация о размерах частиц может быть получена с
помощью следующих методов;
a) накопление частиц путем фильтрации или использования инерционных эффектов, за которыми следуют
измерение числа и размера частиц под микроскопом или измерение массы собранных частиц.
l) накопление частиц путем фильтрации с последующим измерением под микроскопом (см. В.3.3.2.1) дает
информацию о макрочастицах с размерами превышающими установленные;
2) сбор частиц спомощью каскадного импактора с последующим измерением под микроскопом [см. В.3.3.2.2а)]
дает информацию о макрочастицах с размерами, определяемыми оператором, при помощи микроскопа;
3) сбор частиц с помощью каскадного импактора с последующим измерением массы [см. В.3.3.2.2Ь)] дает
информацию о макрочастицах с размерами, соответствующими аэродинамическому диаметру:
b
) определение на месте концентрации и размера макрочастиц с помощью времяпролетного счетчика или
дискретного счетчика частиц;
1) применение дискретного счетчика частиц (см. В.3.3.3.2) дает информацию о макрочастицах с размером,
соответствующим эквивалентному оптическомудиаметру;
2) использование времяпролетного счетчика частиц (см. В.3.3.3.3) дает информацию о макрочастицах с
размером, соответствующим аэродинамическому диаметру.
В.3.3.2 Накопление и счет макрочастиц
В.3.3.2.1 Накопление частиц с помощью фильтра с последующим измерением под микроскопом
Выбирается мембранный фильтр с держателем или предварительно собранным устройством для обнару
жения аэрозоля. При этом размеры пор используемого фильтра не должны превышать 2 мкм. На держателе
делается отметка, позволяющая идентифицировать место отбора пробы и чистое помещение. К выходному от
верстию присоединяют вакуумный насос, который будет обеспечивать движение воздуха с требуемой скоростью.
Если точка отбора проб, где необходимо определить концентрацию макрочастиц, находится в однонаправлен ном
потоке, то скорость потока воздуха должна быть отрегулирована таким образом, чтобы обеспечить изокинвти-ческий
отбор проб через входное отверстие держателя фильтра или устройством для обнаружения аэрозоля, при этом
входное отверстие должно быть повернуто навстречу однонаправленному потоку.
Входное отверстие держателя фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля должны быть направле
ны вертикально вверх. Для систем, имеющих уровень чистоты, не менее 6 класса включительно и выше (см. ИСО
14644-1), объем пробы воздуха должен быть не менее чем 0.28 м3. Для систем, имеющих уровень чистоты не
более 6-го класса, объем пробы воздуха должен быть не менее чем 0,028 м3.
Удаляют крышку с держателя мембранного фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля и кладут ее
в чистое место. Проводят отбор воздуха в точках отбора проб, согласованных между заказчиком и исполнителем.
Если для обеспечения движения воздуха через фильтр используется переносной вакуумный насос, то воздух,
выходящий из насоса, должен быть выведен за пределы чистого помещения или проходить через соответствую
щий фильтр. После завершения отбора проб держатель фильтра или регистратор аэрозоля закрывают. Образец
с пробой следует перевозить таким образом, чтобы он все время между измерением и анализом находился в
горизонтальном положении, и не подвергался вибрации или толчкам. Подсчитывают частицы на поверхности
фильтра [4].
6— 752
17