ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
d) Размер частиц должен быть менее 1 мкм. Рекомендуется использовать канал соответствующий макси
мальной концентрации частиц.
e) Контроль должен выполняться при работающей системе вентиляции и кондиционирования.
f) Увеличивают начальную концентрацию частиц так. чтобы она не менее чем в 100 раз превышала заданное
значение для данногго класса чистоты.
д) Начинают счет частиц с интервалом 1 мин. Отмечают время, при котором концентрация частиц будет в
100 раз превышать заданное значение для данного класса чистоты (f,O0l,).
h) Отмечают время
tn,
когда концентрация частиц достигнет заданною значения для данного класса
чистоты.
i) Время восстановления 100:1 должно быть равно /001 = (
tn
— <100л).
В. 12.3.2 Определение скорости восстановления
Скорость восстановления гложет быть определена по наклону кривой концентрации частиц для требуемого
класса чистоты (см. ИСО 14644-1):
a) Строят график снижения концентрации частиц на координатной сетке, на оси абсцисс которой отложено
время, а на оси ординат — концентрация частиц в логарифмическом масштабе:
b
) Скорость восстановления определяется по наклону кривой.
Скорость восстановления между двумя точками измерений рассчитывают по формуле
где л — скорость восстановления чистоты:
(, — время, прошедшее между первым и вторым измерениями;
С0— начальная концентрация;
С, = С0 ехр (-л /,) — концентрация в момент времени I,.
Следует получить среднее значение результатов измерений (от пяти до десяти измерений).
Соотношение скорости восстановления и времени восстановления 100:1 описывает формула
В.12.4 Используемое оборудование
В.12.4.1 Генератор аэрозолей и аэрозоль, которые имеют такие же характеристики, как в В.6.
В 12.4.2 Дискретный счетчик частиц, имеющий эффективность, согласно С.1 и С.6 (приложение С).
В12.4.3 Система разбавления (при необходимости) по С.12.3 (приложение С).
В.12.5 Протокол испытаний
По соглашению между заказчиком и исполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в
протоколе испытаний указывают следующее:
a) тип каждого прибора с указанием данных о калибровке;
b
) число и расположение контрольных точек:
c) состояние чистого помещения.
В.13 Испытание герметичности ограждающих конструкций
В.13.1 Общие положения
Испытание герметичности ограждающих конструкций выполняется для того, чтобы обнаружить возможное
проникание загрязненного воздуха в чистые зоны из окружающих помещений с тем же или отличающимся уров нем
давления воздуха.
В.13.2 Методики испытания герметичности ограждающих конструкций
В.13.2.1 Испытание с использованием дискретного счетчика частиц
Следует определить концентрацию частиц в воздухе за пределами чистого помещения непосредственно
вблизи поверхности или двери, которые являются предметом испытания. Концентрация должна быть не менее
концентрации частиц в чистом помещении в 103 раз и составлять, по крайней мере 3,5-106 частицам3 для частиц
заданных размеров. Если концентрация частиц не менее установленного значения, то следует использовать
генератор аэрозолей для достижения требуемого уровня загрязнений.
Для определения утечек внутрь чистого помещения сквозь соединения или щели следует сканировать ог
раждающие конструкции изнутри чистого помещения на расстоянии не более 5 см от места соединения, гермети
зации или границы тлежду поверхностями со скоростью сканирования примерно 5 см/с.
Чтобы проверить проникание загрязненного воздуха через открытую дверь, рекомендуется применить ме
тоды визуализации.
(В-12)
(В.13)
36