ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
В.11.3.2 Дополнительное оборудование
Для определения числа и размеров частиц, осевших на пластины, могут применяться различные приборы,
которые могут быть разделены на четыре группы [25]. [28]:
a) оптические микроскопы (для частиц не менее 2 мкм);
b
) электронные микроскопы (для частиц не менее 0.02 мкм);
c) приборы для сканирования поверхности — сканеры (для частиц не менее 0.1 мкм);
d) фотометр для осажденных частиц (седиментометр), если загрязнение поверхности, превышает 1 % ее
площади.
При выборе приборов следует обратить внимание на их способность обнаруживать частицы установленных
размеров. Следует также учесть и другие факторы, например время, необходимое для отбора и анализа пробы и
время. Приборы должны иметь действующий сертификат калибровки.
В.11.4 Протокол испытаний
По соглашению между заказчиком и исполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в
протокол испытаний включается следующая информация:
a) метод и условия испытаний:
b
) данные об используемых приборах и их калибровке:
c) виды испытаний (контроля) и условия проведения испытаний;
d) точки проведения измерений;
e) состояние чистого помещения.
В.12 Определение времени восстановления
В.12.1 Общие положения
Испытание выполняется для оценки способности чистого помещения эффективно удалять взвешенные
в воздухе частицы. Восстановление чистоты воздуха после повышения концентрации частиц является одним
из наиболее важных свойств чистого помещения. Испытание выполняется только для чистых помещений с
неодноналравпенным потоком воздуха, поскольку способность восстанавливать чистоту зависит от кратности
воздухообмена, расположения мест притока и вытяжки воздуха, выделений тепла и характера распределения
воздуха.
Испытание выполняется в построенном или оснащенном состояниях чистого помещения.
Данное испытание не рекомендуется проводить для помещений класса 8 ИСО и класса 9 ИСО.
При использовании искусственно генерируемых аэрозолей следует избегать осаждения частиц на поверх
ностях в чистом помещении.
В.12.2 Определение времени восстановления
Способность чистого помещения восстанавливать класс чистоты оценивается по скорости уменьшения кон
центрации частиц или времени снижения концентрации частиц в 100 раз после введения загрязнений в чистое
помещение.
Оба этих показателя могут быть определены по кривой снижения концентрации частиц.
На оси ординат откладываются значения концентрации частиц в логарифмическом масштабе, а время —
на оси абсцисс в линейном масштабе.
Концентрация частиц не должна быть слишком большой, чтобы избежать неопределенности результатов.
П р и м е ч а н и е — Рекомендуется проводить экспериментальную оценку соотношения 100:1.
В.12.3 Методика определения времени восстановления
В.12.3.1 Определение времени восстановления в соотношении 100:1
Непосредственное определение времени восстановления в соотношении 100:1 возможно, если может
быть установлена начальная концентрация частиц не менее чем в 100 раз превышающая заданный уровень
чистоты.
Следует принять меры предосторожности от ошибки совпадения и загрязнения оптической системы
счетчика частиц. Перед началом работы следует определить концентрацию, необходимую для проведения
испытания в соотношении 100:1. Если это значение превышает возможности счетчика частиц по критерию
ошибки совпадения, то следует применить разбавитель для уменьшения концентрации частиц или вместо испы
тания на время восстановления в соотношении 100:1 провести испытание на интенсивность восстановления
(см. В.12.3.2).
a) Устанавливают счетчик частиц вс оответствии с инструкцией изготовителя и сертификатом калиб
ровки.
b
) Устанавливают пробоотборник счетчика в контрольную точку. Точки отбора проб ичисло отбираемых проб
определяются соглашением между заказчиком и исполнителем.
c) Объем отбираемой пробы должен быть таким же. что и при определении класса чистоты. Время
задержки счетчика от начала каждого счета до получения результатов должно быть установлено на величину не
более 10 с.
35