ГОСТ Р ИСО 14644-3—2007
д) протокол отбора проб при классификации или план точек отбора проб при аттестации (мониторинге):
h) состояние(я) чистого помещения или чистой зоны:
i) другие данные, существенные для испытания.
В.2 Определение концентрации ультрамелких аэрозольных частиц
В.2.1 Область применения
Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговым
размером не более 0.1 мкм. Для обозначения такой концентрации частиц используют U-дескриптор. Методика,
приведенная в настоящем разделе, заимствована из IEST-G-CC1002:1999 [12) и переработана. Определение
концентрации частиц гложет проводиться в чистом помещении или чистой зоне в любом из трех его состояний.
Определение концентрации ультрамелких частиц в чистых помещениях или чистых зонах выполняется в
соответствии с ИСО 14644-1 (приложение Е) или при проведении периодического контроля в соответствии с
ИСО 14644-2.
В.2.1.2 Эффективность счета
Оборудование, применяемое для определения U-дескриптора. должно иметь эффективность счета в пре
делах закрашенной (темной) области графика, приведенного на рисунке В.1 [12]. В центре области допустимых
значений лежит точка 50 %-ной эффективности счета ультрамелких частиц определенного размера, обозначен
ного как размер «II» Допустимое отклонение размера ультрамелкой частицы, составляет + 10 % установленного
диапазона. Границы диапазона на рисунке В.1 находятся в пределах от 0.9
U
до 1.1СУ. Приемлемые минимальная и
максимальная эффективность счета частиц, размеры которых не соответствуют установленному диапазону 10%-
ной полосы допустимых отклонений, рассчитаны, исходя из диффузионной проницаемости; эффективность счета
должна составлять не менее 40 % — для частиц с размерами, превышающими 10 %-ное допустимое отклонение
и не более 60 % — для частиц, размеры которых менее 10%-ного допустимого отклонения, чем заданный размер,
и не более 60 %-ной эффективности для частиц с размерами на 10 % меньшими, чем задан ный размер
ультрамелкой частицы.
X
— диаметр частицы, мкм
Y
— эффективность счета. %
Пример0.5
и
0.9Uо1,1050
U
= 0.020.010
0.0180.0200.0220.100
U
=0,030.015
0.0270,0300.0330,150
U
= 0.050.025
0.0450.0500.0550.250
Рисунок В.1 — Графих оценки эффективности счета
5
*
15