Номер пунктов раздела 4 | Описание требования | Ответ, требование, спецификация |
4.2 | Номер и дата издания настоящего стандарта |
|
4.4 | Основная цель, для которой необходимо чистое помещение Перечень операций, выполняемых в чистом помещении Трудности в достижении требуемых критериев (примеры приведены в приложениях А, В и D) |
|
4.5 | Требуемые классы чистоты или требования к чистоте в соответствии с ГОСТ Р ИСО 14664-1 или другими стандартами (примеры приведены в приложении F) |
|
4.6 | Перечень параметров окружающей среды, контролируемых при аттестации. Допустимые отклонения, методы измерений и методы калибровки (ГОСТ Р ИСО 14644-2, примеры приведены в приложении F) |
|
4.7 | Концепция контроля загрязнений, которая должна использоваться для достижения требуемого уровня чистоты, включая эксплуатационные критерии (примеры приведены в приложении А по описанию концепции контроля) |
|
4.9 | Поток материалов и пр. через чистое помещение (примеры приведены в приложении D) |
|
4.10 | Состояния чистого помещения, при которых должны достигаться и поддерживаться заданные условия, включая отклонения с течением времени; методы обеспечения чистоты помещений в эксплуатации персоналом (например, применяемой одеждой, технологией уборки, организацией потоков персонала и контроля доступа во все чистые зоны - примеры приведены в приложении С) |
|
4.11 | Планировочные решения системы чистого помещения (примеры приведены в приложении D) |
|
4.12 | Все критические размеры оборудования и ограничения по массе, включая те, которые относятся к свободному пространству (примеры приведены в приложении D) |
|
4.13/4.14 | Технологическое оборудование, устанавливаемое в контролируемом пространстве, методы эксплуатации, доступ во время строительства и технического обслуживания, выделения от оборудования, размеры и масса, требования по удалению отходов (примеры приведены в приложениях В, D, Е, G и Н) |
|
4.15 | Требования к техническому обслуживанию чистых помещений, образующих контролируемое пространство, определенные с учетом планирования работ во времени (примеры приведены в приложениях D и Е). |
|