16
5 ИСО | О | 0,2-0,5 | Не применяется | Рабочие зоны Производство масок с несколькими подложками, производство компактных дисков, зоны обслуживания и вспомогательные зоны |
6 ИСО | Н или С f) | Не применяется | 70-160 | Зоны обслуживания, вспомогательные зоны |
7 ИСО | Н или С | То же | 20-70 | Зоны обслуживания, вспомогательные зоны, обработка поверхностей |
8 ИСО | Н или С | » | 10-20 | Зоны обслуживания, вспомогательные зоны |
a) Состояние чистого помещения должно быть заранее определено и согласовано. b) Обозначения потоков воздуха: О - однонаправленный, Н - неоднонаправленный, С - смешанный. c) Однонаправленный поток воздуха в чистом помещении обычно задается средней скоростью потока. Требования к скорости однонаправленного потока зависят от температуры, конфигурации контролируемого пространства, защищаемых объектов и пр. Значения скорости потока воздуха могут задаваться непосредственно после фильтров или в других точках. d) Неоднонаправленный и смешанный потоки характеризуются кратностью воздухообмена в час. В отечественной практике принят показатель «кратность воздухообмена», определяемый как отношение объема воздуха, подаваемого в помещение в 1 ч, к объему помещения. Кратность воздухообмена определяется расчетным путем с учетом тепловой нагрузки, наличия вытяжек, класса чистоты, численности персонала, требуемого перепада давления и др. В таблице в качестве примера приведены ориентировочные значения объема подаваемого воздуха на 1 м2 площади в 1 ч при высоте помещения 3,0 м. e) Следует предусмотреть непроницаемый барьер. f) С учетом эффективного разделения источника загрязнения и защищаемой зоны. Возможен физический барьер или барьер с помощью потока воздуха. |
В.3 Одежда для чистых помещений
При задании требований к чистым помещениям следует учитывать численность персонала и тип одежды с учетом эмиссии частиц.
ПРИЛОЖЕНИЕ С
(справочное)
Аттестация чистых помещений
С.1 Подготовка к контролю и завершающая очистка (уборка)
Любые испытания или контроль чистых помещений следует проводить после стабилизации параметров системы. Длительность периода стабилизации должна быть согласована. Чтобы показать стабильность параметров, контроль следует проводить в течение достаточно продолжительного времени (раздел 4 и пример в приложении Н).
Перед установкой фильтров и после завершения уборки (Е.1.2 - Е.3.3) следует провести очистку всех воздуховодов, стен, потолков, пола и установленных конструкций.
После очистки следует установить финишные фильтры и провести приемочные испытания для проверки соответствия параметров заданным значениям.
С.2 Контроль, испытания и аттестация
С.2.1 Общие положения
После завершения монтажа чистых помещений и для подтверждения выполнения требований по контролю микрозагрязнений (раздел 4) следует провести комплекс проверок и испытаний (С.2.1 - С.2.4 и рисунок С.1).
С.2.2 Аттестация концепции и проекта
Чтобы удостовериться, что концепция, проект и отдельные разработанные детали соответствуют соглашению между заказчиком и исполнителем, следует рассмотреть:
a) концепцию контроля микрозагрязнений;