28
нужно учесть при использовании одежды для чистых помещений, приведено в ИСО 7730 [2].
F.2.7 Следует задать точки измерения температуры и относительной влажности.
F.2.8 Следует определить наружные условия, при которых чистое помещение должно работать с учетом условий его эксплуатации.
F.2.9 Следует определить количества тепла и влаги, которые выделяются в чистом помещении, их источники и динамику изменений.
F.3 Освещение
F.3.1 Требуемая освещенность и ее равномерность в различных частях чистого помещения должны быть заданы с указанием методов обеспечения этих требований.
F.3.2 Цвет светового потока должен быть определен заказчиком, поскольку он имеет существенное значение для комфорта персонала и выполняемых процессов, особенно процессов фотолитографии.
F.3.3 Система освещения должна быть совместима с эффективной эксплуатацией чистого помещения. Крепления светильников не должны выделять загрязнения. Применяются герметичные светильники или светильники без выступов. При однонаправленном потоке воздуха конструкция и расположение светильников должны исключить или свести к минимуму его турбулентность. Светильники должны быть удобными для обслуживания, герметичными и не вносить загрязнения. Должен быть принят во внимание эффект бликов от поверхностей с учетом выполняемой работы.
F.4 Шум и вибрация
F.4.1 Общие положения
При задании допустимых пределов шума и вибрации следует обратить внимание на следующие факторы:
a) место расположения строительной площадки - уровни вибрации, характер почвы и развитие окружающего района в будущем;
b) проект здания - основание для пола, жесткость, изолирующие соединения;
c) вопросы механики - выбор оборудования, проект системы, эксплуатационные требования, системы виброизоляции, системы защиты от шума (внешнего и внутреннего);
d) архитектурно-планировочные решения - планировку чистых помещений, размещение оборудования и генеральный план предприятия, системы обслуживания.
F.4.2 Уровень звукового давления
Выбор уровня звукового давления, обусловленного окружающей средой, например, оборудованием, основан на требованиях комфорта и безопасности персонала. Типовой уровень звукового давления для чистых помещений должен быть от 50 до 65 дБ. В некоторых случаях может потребоваться снижение уровня шума или допускаться превышение этих пределов. Уровни звукового давления измеряются по ГОСТ Р 51402 (ИСО 3746).
F.4.3 Механическая вибрация
F.4.3.1 Вибрация в чистом помещении оказывает отрицательное влияние на процесс, персонал и срок службы оборудования.
F.4.3.2 Свести вибрацию к минимуму или изолировать источник вибрации в чистом помещении можно с помощью высококачественных вентиляторов и виброгасящих устройств.
F.4.3.3 Допустимые уровни вибрации при контроле определяются по стандартам ИСО 1940-1 [1] и ГОСТ ИСО 10816-1.
F.5 Экономия энергии
В проекте чистого помещения следует учесть возможность экономии энергии за счет согласованного отключения системы регулирования температуры и влажности,