23
сопротивления механическому и химическому износу и оставаться гладкими, непористыми, стойкими к изменению цвета (Е.1.4 и Е.3.3).
Стены, полы и потолки чистых помещений и чистых зон должны быть спроектированы и построены так, чтобы доступ для очистки поверхностей был свободным. Это обычно относится к стенам, полам, потолкам и дверям, вводным частям воздушных диффузоров, стокам в полу и т.д. (G).
Если необходимо часто вытирать или мыть стены, полы и потолки, то при выборе материалов следует тщательно оценить места соединения и пересечения деталей и, в особенности, исключить места, где влага может скапливаться или оставаться на поверхности.
Е.1.3 Контроль электростатического заряда и разряда
Аккумулирование электростатических зарядов и последующие разряды могут привести к опасному риску (например, к взрыву в присутствии порошков и газов), повреждению оборудования (например, электронных или оптических элементов) или повышенному осаждению частиц на поверхностях, приводящих к физическому, химическому и микробиологическому загрязнению. Поэтому используемые материалы не должны ни генерировать, ни удерживать существенный электростатический заряд. Этот важный фактор должен быть оценен и задан заказчиком для каждого конкретного случая. Чтобы уменьшить генерирование электростатического заряда, некоторые процессы могут требовать специальных условий, например, влажности. В приложении F дается более детальное руководство по этому вопросу. Следует иметь в виду, что для исключения накопления электростатического заряда наиболее благоприятные условия по влажности могут находиться в противоречии с другими требованиями технологического процесса или целями процесса. В некоторых случаях для уменьшения влияния любого наведенного заряда могут потребоваться электропроводящие или антистатические материалы.
Чтобы защитить элементы, чувствительные к статическому электричеству, сопротивление заземления RE должно быть в пределах 104 - 107 Ом. Следует принять меры по защите персонала от риска удара электрическим током, предусмотреть заземление с переходным сопротивлением RST = 5?104 Ом, поэтому оптимальный диапазон значений сопротивления находится между переходным сопротивлением RST = 5?104 Ом и сопротивлением массы RE = 107 Ом.
Указанные электрические характеристики пола относятся и ко всей структуре материалов и покрытий. Их следует периодически измерять, чтобы контролировать потерю эксплуатационных качеств из-за старения. Не допускается превышение предельного значения 2 кВ, характеризующего аккумулированный поверхностный заряд. Во время работы чистого помещения, после внесения изменений или ремонта следует регулярно контролировать проводимость стен.
Е.1.4 Отделка внутренних поверхностей, ее долговечность и ремонтопригодность
В чистом помещении все внутренние поверхности должны быть гладкими, непористыми, без изломов, раковин, ступенек и выступов. При проектировании и строительстве нужно стремиться, чтобы число ступенек, выступов, углов (особенно внутренних) и других подобных элементов, где могут скапливаться загрязнения, было минимальным. Для обеспечения эффективной очистки углы и соединения могут быть закругленными, особенно в местах «пол - стена» и «стена - стена». Отделка поверхности должна выдерживать механическое и химическое воздействие предусмотренных методов очистки и дезинфекции.
Внутренние поверхности должны соответствовать требованиям заданного класса чистоты помещения. Для них может потребоваться систематическое техническое обслуживание и проведение ремонтов. При выборе материалов следует учитывать требования технического обслуживания, ремонта и возможные повреждения. При этом