27
чистого помещения и задаются заказчиком. Приводимые в этом приложении требования не являются исчерпывающими и могут быть дополнены по мере необходимости.
F.1.2 В проекте чистого помещения должны быть приведены:
a) концепция контроля загрязнений;
b) требования к качеству продукции;
c) капитальные и текущие затраты (стоимость жизненного цикла);
d) экономия энергии;
e) требования безопасности;
f) требования охраны здоровья персонала и комфортности;
g) требования и ограничения, определяемые оборудованием и технологическим процессом;
h) данные о надежности, легкости в эксплуатации и техническом обслуживании;
i) вопросы утилизации (транспортирование отходов и упаковочных материалов);
j) нормативные требования.
F.2 Температура и влажность
F.2.1 Должны быть заданы номинальные значения и пределы изменения температуры и относительной влажности, которые определяются особенностями процесса.
F.2.2 Контроль температуры нужен для:
a) технологических процессов;
b) оборудования и материалов;
c) обеспечения стабильных условий для персонала, находящегося в одежде для чистого помещения.
В общем случае тепловыделения от источников света велики и постоянны, тепловыделения от персонала изменяются, тепловыделения от технологического процесса (тепловая герметизация, пайка, сварка, тепловая обработка и тепловыделения от сосудов под давлением) велики и изменяются.
F.2.3 Большие объемы воздуха, необходимые для обеспечения чистоты, благоприятно влияют на отвод тепла от внутренних источников и работу системы регулирования температуры. Анализ потоков воздуха в зонах выделения тепла позволяет получить картину распределения температуры и уровней загрязнений.
F.2.4 Контроль относительной влажности нужен для:
a) технологических процессов;
b) оборудования и материалов;
c) снижения электростатических зарядов;
d) обеспечения комфорта для персонала в сочетании с указанным выше контролем температуры.
F.2.5 В чистых помещениях изменения влажности обусловлены, как правило, внешними факторами (например, изменениями погоды), а не колебаниями в выделении влажности в самом чистом помещении. Если внутри чистого помещения происходит испарение, то эту зону следует оградить и оборудовать вытяжными устройствами. Следует принять меры защиты от электростатического эффекта.
Некоторые процессы (такие как изготовление вакуумных трубок и таблетирование) требуют относительной влажности менее 35 %. Материалы, применяемые для снижения электростатического эффекта, приведены в приложении Е. В зоне с низкой влажностью может быть более высокий заряд, чем в зоне с высокой влажностью.
F.2.6 Следует определить температуру и относительную влажность, комфортные для персонала. Типовой диапазон относительной влажности от 30 % до 65 %. За пределами этого диапазона следует принять соответствующие меры, чтобы учесть требования процесса и персонала. Специальное руководство по температурному режиму, который