ГОСТ Р ИСО 11095-2007; Страница 21

или поделиться

Ещё ГОСТы из 41757, используйте поиск в верху страницы

ГОСТ 7.62-2008 Система стандартов по информации, библиотечному и издательскому делу. Знаки корректурные для разметки оригиналов и исправления корректурных и пробных оттисков. Общие требования System of standards on information, librarianship and publishing. Symbols for making-up manuscripts, galleys and proofs correction. General requirements (Настоящий стандарт распространяется на корректурные знаки для разметки издательских (авторских) текстовых и изобразительных оригиналов и для исправления корректурных и пробных оттисков всех видов, устанавливает требования к их начертанию и назначению независимо от их характера (рукопись, пробный оттиск и т.д.). Стандарт рекомендуется для издательств, издающих организаций и полиграфических предприятий) ГОСТ 7631-2008 Рыба, нерыбные объекты и продукция из них. Методы определения органолептических и физических показателей Fish, non fish objects and products from them. Methods of sensory and physical characteristics identification (Настоящий стандарт распространяется на рыбу, нерыбные объекты и продукцию из них и устанавливает методы определения органолептических и физических показателей. Настоящий стандарт не распространяется на консервы и пресервы, сухие супы, водоросли, морские травы и продукцию, вырабатываемую из них, кроме кулинарных изделий, а также на кожевенное, меховое и техническое сырье из водных млекопитающих. Настоящий стандарт применяют совместно с ГОСТ 7636 в части определения органолептических и физических показателей) ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration (Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер)

Страница 21

Страница 1

Untitled document

ГО СТ Р ИСО 11095— 2007

х0— истинное значение неизвестной величины;

у,к. у2к иу0к — результаты измерений двух RM и неизвестной величины, соответственно (Л = 1..... К);

Ei*— разность междууЛ и математическим ожиданием результатов измерений RM или неиз

вестной величины в зависимости от значения /(в соответствии с предположениями раз

ности являются случайными ираспределенными понормальномузаконусосредним 0

идисперсией о2);

ft,. (J, х0и о2 — параметры, которые оценивают поданным эксперимента (параметры (Ц ир, являются

вспомогательными).

8.3.4.2 Оценка х0идисперсии остатков о2

Оценки х0 и о2 получают по следующим формулам;

с-У,>- ,<У0-У »)

л о

------------

=—

=---------------•

У! - У.

<Уи -

У * Х <

2*-

>)2+ Х <

**- у 0)г

___________■»!

___________

3<к -1)

где 7. = - i > * (/=0.1.2).

9 Примеры

9.1 Общие замечания

Пример иллюстрирует основной метод для оценки параметров линейной функции калибровки и

метод контроля для мониторинга измерительной системы. Пример основан на данных [6].

9.2 Основной метод

9.2.1 Предпосылки и данные

Измерения зазора междутокопроводящимидорожками вфотомасках интегральных схем вдиапа

зоне от 0.5до 12 мкм могут быть выполнены с помощью оптической измерительной системы (оптическо

го микроскопа, оснащенного измерительным устройством). Такая система может быть калибрована с

использованием стандартного образца SRM-474. Стандартный образец SRM-474 включает в себя

набор издесяти случайных интервалов вдиапазоне от 0.5 до 12 мкм.

В примере описан эксперимент по калибровке, проводимый с помощьюоптической измерительной

системы. Каждый из десяти зазоров между токопроводящими дорожками стандартного образца был

измерен четыре раза. Эти повторения были распределены подвухнедельному интервалу для обеспече

ния независимости измерений. Данные, представленные в таблице 3. состоят из четырех (К = 4) повто

рений измерений на десяти

= 10) зазорах между токопроводящими дорожками, для которых

обеспечены принятые значения.

Т а б л и ц а 3 — Данные эксперимента по калибровке

Значения вмикрометрах

Значение

Результат измерений

Повторение 1

Ул,

Повторение 2

Ул

Лооторенис 3

Ущ

Повторение 4

Ум

6.19 6.31 6.27 6.31 6.28

9.17 9.27 9.21 9.34 9.23

1.99 2,21 2.19 2.22 2.20

7.77 8.00 7.81 7.95 7.84

4.00 4.27 4.15 4.15 4.15

10.77 10.93 10.73 10.92 10.89

4,78 4.95 4.87 5.00 5,00

2,99 3.24 3.17 3.21 3.21

6.98

7.14 7.07 7.18 7.20

9,98 10.23 10.02 10.07 10.17