9
- Экспериментальная установка
Измерительная камера (см. рисунок2) должна быть чистой и сухой. Чистота насоса, уплотнителей и другихкомпонентовдолжна соответствовать ожидаемомубазовому давлению. Из-за узкого диапазона измерения расходомеры с разным диапазоном необходимо подключать последовательно. При ограничении потока можно использовать несколько расходомеров параллельно с клапаном между каждым расходомером и магистралью. Вместо расходомера и клапана следует применять измерители массового расхода с программируемой пропускной способностью, которые комбинируются в параллели на магистрали.
Примечание — Герметичность больших расходомеров часто недостаточна, в связи с чем рекомендуется использовать клапан между ними и магистралью.
Ионизационные вакуумметры и масс-спектрометры не рекомендуется устанавливать на одной прямой линии.
ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ — Соблюдать инструкцию производителя по безопасному использованию вакуумного насоса.
'71
Примечание — Позиции 2 и 8 используются только с высоковакуумными насосами.
Рисунок 2 — Схема установки для измерения быстроты действия с помощью метода постоянного потока
- Определение быстроты действия
Для измерения быстроты действия qV, используется метод постоянного потока, для которого производительность Q устанавливается вне измерительной камеры. Если давление р1, измеряемое вакуумметром на соответствующей высоте над нижним фланцем (см. рисунок 1), остается постоянным, быстрота действия qVопределяется соотношением
где рь — базовое давление в измерительной камере (см. 5.4).
Аналогичная формула применяется для определения быстроты действия форвакуумного насоса qV
рз - рьз
Быстроту действия можно измерять объемным способом (газовыми бюретками и счетчиками) с помощью эффекта вязкости потока (ротаметром, капиллярами) или (в большинстве случаев) термоэлектрическим массовым расходомером (см. [3]).