14
л) температуру окружающей среды и измерительной камеры;
м) время прогрева и температуру измерительной камеры.
X — впускное давление, Па; Y — быстрота действия, л/с; qv — быстрота действия испытуемого насоса; qVB — быстрота
действия форвакуумного насоса
- Измерение быстроты действия методом постоянного объема
- Общие положения
Метод постоянного объема используется для низковакуумных насосов. Скорость откачки достигается с помощью испытуемого насоса. Данный метод требует измерения давления в зависимости от времени и объема измерительной камеры. Его преимущества заключаются в отсутствии необходимости измерения потока газа и простоте автоматизации процесса.
Однако непрерывная откачка имеет следующие недостатки:
- измерение давления может быть нарушено временем отклика вакуумметров и системой накопления данных;
- происходит падение давления, вызванное какудалением газа насосом, таки его охлаждением в сосуде; охлаждающий эффект меняется в процессе откачки, так кактеплообмен между газом и стенками сосуда зависит от давления (при атмосферном давлении процесс откачки близок к изоэнтропическому, который приводит к значительному охлаждению, но при высоком вакууме — к изотермическому, который способствует быстрому нагреванию газа до температуры окружающей среды).
Эти проблемы не возникают при прерывистом процессе, когда сосуд откачивается повторяющимися циклами Af1 с промежуточными периодами ожидания A2. В начале цикла сосуд перекрывается (давление записывается как исходное) и откачивается в течение определенного времени At1, пока давление не понизится на несколько процентов. Затем процесс откачки прерывается, и второе значение давления записывается после интервала A2, обеспечивающего тепловую стабилизацию, которая достигается, когда давление приобретает стационарное значение. После этого цикл откачки повторяется.
Примечание — Использование этого метода для насосов с высоким удельным обратным потоком паров рабочей жидкости из выпускного трубопровода на всасывающую сторону может увеличить быстроту действия насосов для легких газов из-за эффекта продувочного газа. В периоде ожидания тепловой стабилизации насос достигает базового давления с остаточным составом газа (таким как воздух) в выпускной трубе. В начале нового интервала откачки этот газ усиливает откачку легкого газа (такого как водород). Следовательно, метод откачки для этих газов не может быть рекомендован.
Все измерительные приборы должны быть калиброваны либо:
а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;
б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки
согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.
- Измерительная камера и метод постоянного объема
Для измерения быстроты действия методом постоянного объема необходимо использовать камеру с не меньшим объемом, чем ожидаемая быстрота действия, умноженная на 120 с. Размеры камеры в трех направлениях в пространстве не могут отличаться больше чем в 10 раз. Все внутренние поверхности измерительной камеры и соединительный трубопровод к насосу должны быть чистыми и сухими. Измерительная камера должна иметь одно всасывающее отверстие с номинальным диаметром, рав