6
Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
- Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины с соответствующими определениями по [1]:
- быстрота действия qV (volume flow rate): Объем газа, проходящий через входное отверстие насоса за единицу времени, измеренный при давлении в определенном месте.
Примечания
- Для практических целей быстрота действия насоса для данного газа условно принимается равной отношению его производительности к равновесному давлению этого газа во входном отверстии насоса. Единицы измерения, принятые для быстроты действия, м3/ч или л/с.
- Вместо «быстроты действия» часто используется термин «скорость откачки» и символ «S».
- впускное давление p1, pd, pe (inletpressure): Давление на входе насоса, измеряемое в определенном месте измерительной камеры.
- базовое давление pb (base pressure): Давление, полученное в измерительной камере после создания соответствующих условий в вакуумном насосе и измерительной камере (см. 5.4).
Примечание — Предельное остаточное давление — величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере при отсутствии натекания газа: самое низкое давление, получаемое насосом; в настоящем стандарте методы измерения не приведены.
- максимальное рабочее давление p1max (maximum working pressure): Максимальное давление во входном сечении, при котором вакуумный насос и приводное устройство могут безаварийно работать в течение длительного времени.
- выпускное давление p3 (backing pressure):Давление в выходном сечении вакуумного насоса.
- наибольшее выпускное давление pc (critical backing pressure): Величина наибольшего выпускного давления (приводится в руководстве по эксплуатации или стандарте на конкретный тип вакуумного насоса).
- степень сжатия КО (compression ratio): Отношение выпускного давления р3квпускномудавле- нию p1 вакуумного насоса при нулевой производительности, выраженное формулой
Ко= *
Р1
- измерительная камера (testdome): Специальная присоединенная ко входунасоса и оборудованная средствами для измерения его характеристик вакуумная камера определенной формы и размеров, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос.
- производительность Q (throughput): Расход газа во входном сечении насоса, определяемый формулой
„ p1V
Q = = p1qv,
где p1 — впускное давление (давление на входе насоса со стороны высокого вакуума); qv — быстрота действия;
t — время;
V — объем измерительной камеры.
стандартная быстрота действия q^ (standard gas flow rate): Быстрота действия при стандартных условиях для газов в соответствии с ISO 3529-1 [2].