10
Из-за влияния температуры на объем газа во всех случаях объемных измерений необходима коррекция фактора TD/Tf, если температуры Tf расходомера и TD измерительной камеры отличаются.
Примечание — Термоэлектрические массовые расходомеры измеряют не производительность, а быстроту действия qVstd при стандартных нормальных условиях для газов в соответствии с [2] (р0 = 101 325 Па и Т0 = 273,15 К). Чтобы получить производительность, qVstd умножается на фактор роТ^Т0. Следовательно, qv будет вычисляться формулой
Единица измерения «sccm» (стандартный кубический сантиметр в минуту) часто используется для qV d. Тогда можно получить qV в литрах в секунду [qV d = (qV /sccm) 10-3 л/60 с], [ро = 101 325 Па] и [Т0 = 273,15 К] на основе формулы (3) следующим образом:
(qV /sccm)103n ■ 101325Па ■ TD
qv = ^^ D л/с.
60с ■ 273,15 К( p1 - pb)
- Проведение измерений
Камера для проведения измерений представлена на рисунке 1, распределение измерительного оборудования — на рисунке 2. Вначале, когда клапан напуска газа закрыт, базовое давление будет преобладать в измерительной камере (см. 5.4), затем газ подается в нее через напускной клапан. Измерения выполняют при возрастающей величине давления, что позволяет правильно использовать расходомер. В течение этого времени величина температуры окружающей среды должна быть постоянной и сохраняться в пределах + 2 °C.
Когда необходимое давление p1 достигнуто, в пределах колебаний 3 % в минуту измеряют давления р1 и р3, температуры окружающей среды и измерительной камеры TD, а также производительность Q. Если она стабильна в пределах колебаний + 3 %, измерение можно считать верным, если нестабильна из-за переходного состояния, стабилизации следует подождать. При измерении производительности в течение более 60 с давление р1 в измерительной камере необходимо измерять каждую минуту. В этом случае оно представляет собой среднюю величину значений измерения. Если при измерении давления производительность колеблется более чем на + 3 %, измерение нужно повторить, пока данные не стабилизируются.
Давление р1 нужно измерять какминимум втрехточкахв каждом десятичном диапазоне. Если производительность увеличивается до максимально допустимого значения Qmax, то достигается предельное впускное давление, величина которого может быть ограничена производителем.
Примечание — Быстроту действия можно измерять с разными газами. Когда они меняются, все трубопроводы, подсоединенные к клапану напуска должны продуваться новым газом перед следующими измерениями.
- Погрешности измерения
Поток газа должен измеряться с предельной погрешностью + 2,5%, а давление — с погрешностью менее + 3 %. Точные измерения необходимо выполнять в соответствии с приложением Б. Общая погрешность измерения быстроты действия должна быть менее 10%.
- Результаты измерения
На полулогарифмический график (как показано на рисунке 5) наносят кривую быстроты действия qV испытуемого насоса, вычисленную с помощью формулы (1), относительно впускного давления и кривую быстроты действия qV форвакуумного насоса (если используется), вычисленную из значений qVstd и Р3 относительно р3 так, чтобы определить размер форвакуумного насоса. Диапазон абсциссы покроет весь диапазон давлений p1 и p3. Должны быть обозначены базовые давления вакуумного pb1 и форвакуумного насосов pb3.
Отчет об испытании должен содержать, как минимум:
а) тип, серийный номер, погрешность измерений и условия работы всех используемых вакуумных измерительных приборов и расходомеров;
б) тип и серийный номер испытуемого насоса;
в) скорость вращения ротора и /или условия работы испытуемого насоса;
г) давление жидкости, применяемой в испытуемом насосе, и ее паров при 20 °C;
д) номинальный диаметр DN входа измерительной камеры или переходника;
е) тип и быстроту действия форвакуумного насоса (если используется);
ж) тип уплотнителей, применяемых на впускном фланце испытуемого насоса;
и) тип маслоотражателей и ловушек, используемых во время испытания, и их температуру;
к) температуру и расход охлаждающей воды;