20
- Особые рекомендации для измерения сверхвысоких коэффициентов сжатия
Для измерения сверхвысоких степеней сжатия, когда базовое давление выше, чем впускное парциальное давление газа, который напускается на форвакуумную сторону, нужно использовать масс-спектрометр. Так как диапазон впускного давления охватывает шесть декад и более, рекомендуется применять ионизационный вакуумметр Байярда—Альперта и масс-спектрометр для параллельного измерения давления.
Для калибровки этих приборов тестовый газ напускают через клапан (см. рисунок 8, позиция 5) в измерительную камеру, чтобы повысить давление в ней в несколько раз. Сравнением показаний разных вакуумметров можно определить калибровочные факторы для ионизационного вакуумметра и масс-спектрометра.
Примечание — Рекомендуется проводить калибровку после измерения степени сжатия.
6 Требования безопасности
При проведении измерений необходимо соблюдать предъявляемые к вакуумным насосам требования безопасности, которые изложены в ГОСТР 52615.
Приложение А (справочное)
Средняя длина свободного пробега молекул некоторых газов
Произведение длины свободного пробега молекул газа и давления постоянно. Его значения для газов в таблице А.1 действительны при Т = 293,15 К (20 °C) (см. [4]).