18
Обезгаживание вакуумного насоса и измерительной камеры прекращается одновременно, когда достигается давление, в 100 раз превышающее ожидаемое базовое давление, но не позднее чем через 48 ч прогрева. Процедура обезгаживания приведена в отчете по испытанию. Ионизационный манометр дегазируется в соответствии с рекомендациями производителя во время и в конце процесса не позднее чем за 2 ч до начала измерения. Одновременно фиксируется давление в выходном сечении насоса p3.
Давление p1 в камере, измеряемое через 48 ч после окончания обезгаживания прогревом, является базовым pb1 для вакуумного насоса. Изменение функции давления от времени не должно быть положительным.
- Оценка измерения
Отчет по испытанию включает процедуру нагрева (время и температуру) и базовое давление, которое необходимо для вычисления степени сжатия и быстроты действия.
- Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;
б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки
согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.
- Экспериментальная установка
Экспериментальная установка для измерения степени сжатия и наибольшего выпускного давления показана на рисунке 8.
Поверхности измерительной камеры, уплотнители и фланцы должны соответствовать ожидаемому базовому давлению. Для давления менее 10-4 Па должны быть использованы прогреваемые фланцы суплотнителями.
Рекомендуется установка нескольких вакуумметров на разные диапазоны давлений. Для давлений р1 < 10-8 Па должен быть применен масс-спектрометр.
Если используют несколько ионизационныхдатчиков, прямое соединение источников ионов недопустимо.
Для получения низкого базового давления 10-2 Па на форвакуумной стороне рекомендуется поместить турбомолекулярный насос между клапаном напуска газа и форвакуумным насосом. Вакуумметр (см. рисунок 8, позиция 6) должен устанавливаться как можно ближе к выходу испытуемого насоса на выпускном трубопроводе с равным ему диаметром. Соединительный трубопровод с вакуумметром должен быть перпендикулярен линии оси выпускного отверстия. Необходимо, чтобы он был смещен вверх от клапана напуска газа (см. рисунок 8, позиция 4). Нужно установить регулируемый клапан для дросселирования потока газа к форвакуумному насосу для сохранения газа для испытания, который должен иметь чистоту 99,999 % по массе.
- Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления
Степень сжатия К0 определяется по формуле
К0 = Рз ~ Pb3, (14)
Pi ~ Pb1
где pb1 и pb3 — базовые давления испытуемого и форвакуумного насосов.
Для измерения степени сжатия газ впускается в выходной канал испытуемого насоса и определяются давления р1 и р3. Максимальное давление р3, при котором испытуемый насос (см. рисунок 8, позиция 3) может непрерывно откачивать газ, является наибольшим выпускным рс.