17
I Pt1 )
к 0,1, быстродействующий клапан закрывается и измерение времени для At1 прекращается. Давление pt2 записывается после того, как показания стабилизируются на постоянном уровне после интервала времени At2 (обычно30< А2<120с).
При давлениях ниже 100 Па влияние незначительных течей и скорости десорбции измеряется относительно третьего давления pt3 после следующего интервала времени At3 с закрытым быстродействующим клапаном.
Периодическое повторение процедуры откачки приводит к измерению значений быстроты действия в диапазоне от начального до базового давления насоса с помощью воздуха или других газов, тип которых должен быть определен.
- Пределы применяемости
Незначительные течи и скорости десорбции измерительной камеры не сильно влияют на давление. Второе слагаемое формулы (11) не должно превышать 1 % pt2.
В молекулярном режиме течения газа проводимость трубопровода между насосом и измерительной камерой сокращает измеряемую быстроту действия. Чтобы оценить это влияние, проводимость трубопровода С определяют по формуле (13)
(13)
где c — средняя тепловая скорость газа;
A — поперечное сечение трубопровода; l — длина трубопровода; а — внутренний диаметр трубопровода.
Метод (см. [4]) может применяться при молекулярном режиме течения газа, если С > 20qV. Для С <20qV метод можно использовать только для давлений, где длина свободного пробега молекул газа / <0,1 а (см. приложение А).
- Оценка измерений
Быстроту действия вычисляют по формулам (10) — (12) и относят ее к среднему значению измеряемых давлений pt1 и pt2. Для графического изображения через точки измерения можно начертить выравнивающую кривую, пока она не отклонится от значений измеряемой быстроты действия более чем на 5 %. Выравнивающая кривая — это характеристика быстроты действия вакуумного насоса.
- Погрешность измерения
Общая погрешность измерения быстроты действия должна быть меньше 10%. Если есть подтверждение, что без коррекции от pt1 до pt1w иот pt2 до pt2w конечная ошибка измерения qV меньше 10 %, тогда pt1w = pt1 и pt2w = pt2 могут быть установлены (точное вычисление см. в приложении Б).
5.4 Измерение базового давления
- Условия испытаний
Условия испытаний вакуумного насоса (частота вращения, жидкость для смазки, охлаждение и т. д.) должны быть указаны производителем, температура окружающей среды — сохраняться в пределах +1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;
б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки
согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК17025.
Для данного измерения используют расположение приборов, показанное на рисунках 2,4 и 6.
- Методика испытаний для насосов с базовым давлением более 10-4 Па
Измерительную камеру откачивают при закрытых клапанах напуска газа в течение 1—2 ч, пока не
будутдостигнуты дальнейшее снижение давления в камере и устойчивая рабочая температура насоса.
Если ожидаемое базовое давление находится между 10-2 и 10-4 Па, измерительная камера нагревается более 3 ч до 120 °C. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Обезгаживание насоса и измерительной камеры завершается одновременно.
Давление p1, измеряемое через 1 ч после установления в насосе и измерительной камере устойчивой рабочей температуры, является базовым pb1.
- Методика испытаний для насосов с базовым давлением менее 10-4 Па
Во время установки измерительной камеры (см. рисунок 2) необходимо соблюдать требования, предъявляемые ктехнологиям сверхвысокого вакуума.
Через 1 ч после запуска насоса измерительную камеру нагревают до максимальной температуры от 150 °С до 300 °C. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Температура верхней части вакуумного насоса должна контролироваться в пределах, установленных этой инструкцией.