19
1 — измерительная камера; 2 — форвакуумный насос; 3 — испытуемый насос; 4 — клапан напуска газа; 5 — клапан напуска
газа; 6 — вакуумметр для измерения р3, 7 — вакуумметр для измерения р^ 8 — вакуумметр или масс-спектрометр; 9 — регу-
лируемый клапан; 10 — нагревательная рубашка (дополнительно)
Рисунок 8 — Схема установки для измерения степени сжатия и наибольшего выпускного давления
- Проведение измерений
Для каждого тестового газа сначала должно быть получено базовое давление pb1 в измерительной камере (см. 5.4). Соответствующее форвакуумное давление pb3 может быть небольшим по сравнению с повышением давления для первой точки измерения, вызванным впуском газа. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах +1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °C.
Клапан напуска газа (см. рисунок 8, позиция 4) открывают так, чтобы давление р3 повышалось постепенно. Значения форвакуумного давления рЬ3ивпускногодавленияр1 записывают одновременно, когда они стабильны, в пределах + 5%за 1 мин.
Измерения фиксируют в трех точках в каждом десятичном диапазоне форвакуумного давления.
Продолжают измерение, пока р3 не достигнет наибольшего выпускного давления рс, определенного производителем испытуемого насоса либо специальным стандартом для этого типа.
В зависимости от типа насоса измерения степени сжатия можно выполнять с производительностью «0» или заданной для испытуемого насоса, если это предусмотрено руководством по эксплуатации или его специальным стандартом.
Примечание — Степень сжатия можно измерять с различными газами. Когда они меняются, трубопроводы, присоединенные к клапану напуска, продуваются новым газом перед следующим измерением.
- Погрешность измерения
Погрешность измерения степени сжатия можно установить только для значений p1 >> pb1 и P3 >> р b3 — должна быть меньше или равна + 20 %.
- Оценка измерений
Впускное давление (p1 -pb1) и степень сжатия KO относительно (p3-pb3) наносят на логарифмическую шкалу. Кривые для различных тестовых газов будут четко показаны на каждой диаграмме.