16
быстродействующего клапана (см. рисунок 6). Этот объем откачивается (почти) до базового давления насоса pb1 в начале интервала измерения At1. Когда клапан открывается, происходит быстрое движение газа из объема измерительной камеры V в объем V и, таким образом, снижается реальное стартовое давление pt1 при интервале откачки до pt1w. Формула (10) корректирует падение давления рп,вызванное движением газа.
РиХ±РмЧ. (10)
V+V
Второй источник— возможная негерметичность и десорбция газа измерительной камеры, вызывающая дополнительную газовую нагрузку во время ожидания тепловой стабилизации. Чтобы определить воздействие этого эффекта, повышение давления (pt3 - pt2) в третьем интервале времени Af3, который следует за тепловой стабилизацией, должно измеряться в пределах менее 100 Па. В этом случае влияние негерметичности и скорости десорбции на быстроту действия можно скорректировать заменой pt2 в формуле (9) на виртуальное давление pt2w.
В начале цикла откачки (1) исходное давление pt1 быстро падает до pt1w из-за открывания быстродействующего клапана. Затем давление снижается до 0,9 pt1 (2) из-за откачки в интервале At1. После закрытия быстродействующего клапана давление повышается в интервале At2 за счет тепловой стабилизации до значения pt2 (3). Когда давление возрастает от pt2 до pt3 (4), влияние негерметичности и скорости десорбции на измерение быстроты действия можно скорректировать экстраполированием наклона кривой в интервале At3 к моменту времени (2). Таким образом, скорректированное давление pt2w вычисляют по формуле (11)
pt2w = pt2-( Pt3 ~ Р t2)( At1 +At 2). 01)
At3
Применение формул (10) и (11) в формуле (9) дает скорректированную быстроту действия
qv = ^+Х ln ^ (12)
At1 pt2w
- Проведение измерений
Вакуумметр и вакуумный насос, подсоединенные к измерительной камере, будут действовать при открытом быстродействующем клапане, пока не установятся базовое давление и, по крайней мере, стабильная рабочая температура. Выпускное давление вакуумного насоса должно быть равно атмосферному. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах + 1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.
При закрытом клапане напуска газ откачивается из измерительной камеры. Когда дальнейшее снижение давления закончится, необходимо зафиксировать базовое давление pb1. Затем быстродействующий клапан закрывается, и измерительная камера продувается до атмосферного давления тестовым газом. Насосы с базовым давлением ниже парциального давления насыщенного пара воды при комнатной температуре испытываются с помощью сухого воздуха, азота или других тестовых газов. После закрывания клапана напуска газа показания давления pt1 стабилизируются, пока не достигнут постоянного значения (обычно в течение от 30 до 120 с). Затем быстродействующий клапан открывается и одновременно измеряется время для Af1. Когда перепад относительного давления [ Pt1 ~Pt21 приблизится