13
- Измерение при методе двух манометров
Расположение измерительных приборов показано на рисунке 4. Сначала после прогревания при закрытых клапанах напуска газа базовые давления pbd и pbe будут преобладать в измерительной камере (см. 5.4).
- Регулировка приборов измерения давления
После достижения и записи базовыхдавлений рЬс,и pbe в измерительной камере испытательный газ впускается через клапан напуска (см. рисунок4, позиция 4), чтобы проверить чувствительность измерительных приборов (см. рисунок4, позиции 7и 8).
Так как газ поступает напрямую к входу насоса, фактические давления (рс- рьс)и(ре-рЬе)одинако- вы при постоянном течении потока газа через клапан.
ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ — Для измерений использовать только сухие газы (99,9 %), чтобы избежать процессов адсорбции и десорбции.
Проводят по крайней мере три измерения ре в каждом десятичном диапазоне с повышающимися давлениями, начиная с двойной пороговой величины базового давления рЬе.
Вычисляют соотношение ——рьС для каждой пары величин давления, которое должно быть рав-
р e - р be
но 1. Если есть отклонения от 1, чувствительность одного измерительного прибора должна корректироваться с учетом среднего отклонения для каждой декады.
После такой регулировки в измерительной камере устанавливается базовое давление, и можно начинать измерение быстроты действия.
- Измерение быстроты действия
Газ нагнетается в измерительную камеру через клапан напуска (см. рисунок 4, позиция 5). Измерения проводят с повышающимися давлениями, начиная с двойной пороговой величины базового давления рЬ0. Когда требуемое давление рЬ0 достигнуто и остается стабильным в течение следующей минуты в пределах + 3 %, эту точку можно считать верной. Если давление нестабильно из-за переходного режима, следует подождать его стабилизации.
Проводят измерения как минимум в трех точках в каждом десятичном диапазоне давлений до ре = 1 • 10-3 Па или до давления, при котором длина свободного пробега молекул газа (см. [4]) в верхней части измерительной камеры меньше 2d, где d — диаметр отверстия (см. приложение А). Давления рс, peи р3записываются при каждом измерении.
Быстроту действия qV вычисляют по формуле (5).
Примечание — Быстроту действия можно измерять с разными газами. Когда они меняются, все трубопроводы, подсоединенные к клапану напуска, продуваются новым газом перед следующими измерениями.
- Погрешности измерения
Перепад давления должен измеряться с погрешностью не более 3 % и диаметр отверстия — с погрешностью 0,5%. Если давление в верхней камере повысится до значения, при котором длина свободного пробега молекул приближается к двойному диаметру отверстия, проводимость возрастет на 3 % значения молекулярного потока (см. [4]). Для точного вычисления см. приложение Б. Общая погрешность быстроты действия должна быть менее 10%.
- Результаты измерения
Наполулогарифмическийграфик(см. рисунок5)наносяткривуюбыстротыдействия qV испытуемого насоса с учетом впускного давления и кривую быстроты действия q^ форвакуумного насоса (если используется) с учетом р3, чтобы определить его размер. Быстрота действия qV испытуемого насоса определяется по формуле (5), быстрота действия q v форвакуумного насоса — по формуле Q = peqV = = С(рс- р^ при значении р3. Диапазон абсциссы покроет весь диапазон давлений peи р3. Базовые давления вакуумного насоса рЬ0 и форвакуумного насоса рЬ3 должны быть обозначены.
Отчет об испытании должен содержать, как минимум:
а) тип, серийный номер, погрешность измерений и условия работы всех используемых вакуумных измерительных приборов и расходомеров;
б) тип и серийный номер испытуемого насоса;
в) скорость вращения ротора и /или условия работы испытуемого насоса;
г) давление жидкости, применяемой в испытуемом насосе, и ее паров при 20 °C;
д) номинальный диаметр DN входа измерительной камеры или переходника;
е) тип и быстроту действия форвакуумного насоса (если используется);
ж) тип уплотнителей, применяемых в клапане напуска газа при определении потока;
и) тип маслоотражателей и ловушек, используемых во время испытания, и их температуру;
к) температуру и расход охлаждающей воды;