ГОСТ Р 8.629—2007
ном направлении сканирования (далее — ось ординат). Второй лазерный интерферометр (далее —
вертикальный лазерный интерферометр) устанавливают соответственно расположению зеркал.
Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию
информативных и опорных лучей в процессе сканирования поверяемого элемента. Необходимо также
обеспечитьдля каждого интерферометра взаимную параллельность информативного иопорного лучей
при всех положениях стола и Z-сканера ACM в процессе сканирования поверяемого элемента. Допусти
мый угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен пре
вышать 1‘.
Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позво
ляет в процессе сканирования поверяемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видеоп
рофиля элемента и одновременно с этим регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера
двумя лазерными интерферометрами.
8.2.3 Всоответствии с инструкцией поэксплуатации ACM проводят пробноесканирование поверя
емого элемента рельефа. При этом предварительно:
- выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкцией поэксплуатации применяемыхлазер
ных интерферометров;
- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность
направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направ
ления вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании элемента рельефа;
- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и лазерных интерферомет
ров определяют частоту искоростьсканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фа
зометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных
полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информатив
ными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;
- устанавливают показания электронно-фаэометрических систем применяемых лазерных интер
ферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используе
мых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.
8.2.2. 8.2.3 (Измененная редакция. Изм. N8 1).
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей
электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
8.3.2 В соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и лазерных интерферо
метров проводят сканирование выступа поверяемого элемента рельефной меры. Одновременно с по
мощью лазерных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной
части рабочего стола ACM и вертикального перемещения Z-сканера ACM.
Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда ACM
приведены на рисунке 1.
Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, представлен на рисунке 2.
Ьр — ширина нижнего основания выступа: 6, — ширина верхнего основания выступа: It — высота выступа,
а — знамение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
Рисунок 1 — Сечение поверяемого элемента рельефной меры
5