ГОСТ Р 8.629—2007
L —разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствую
щая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола ACM. вычисленная по
видеолрофилю (см. рисунок 2). пиксель.
9.4 (Исключен. Изм. № 1).
9.5 Вычисление вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании поверяе
мого элемента
Вертикальное перемещение Z-сканера ACM ДН, нм. при сканировании поверяемого элемента вы
числяют по формуле
ДН =-^-д Ф а,
4лл
где
а
2— длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (форму
ляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм:
Дф„ — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.4, рад:
п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей сре
ды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
9.6 (Исключен, Изм. № 1).
9.7 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа
Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещенияZ-сканера
ДН, вычисленному по 9.5.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
9.8 Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основа
ния выступа поверяемого элемента рельефа
При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступаиспользуют вспомо
гательную величину, для вычисления которой:
- вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на
рисунке 2. результат такого вычисления приведен на рисунке 3;
х -- ось абсцисс по 8.2.2; a, t — начальная и конечная точки положения зоила ACM при сканировании поверяемого элемента,
dl
расположенные по 8.2.1; — — ось ординат по значению производной величины видеосигнала по координате х.
dx
Рисунок 3 — Графическое изображение первой производной видеопрофиля по координате в направлении
горизонтального перемещения подвижной части стола ACM
- проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате ивычисля
ютвспомогательную величину Ви. пиксель, которая равна разности соответствующихабсцисс точек, как
показано на рисунке 3.
9.9 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа
Ширину верхнего основания выступа Ьл, нм. вычисляют по формуле
= т б и .
где т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.3. нм(пик-
сель;
8й— вспомогательная величина, вычисленная по 9.8. пиксель.
7