ГОСТ Р 8.629—2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА
С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements.
Methods for verification
Дата введения — 2008—02—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометровогодиапазона с трапеце
идальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изго
товления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для
измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9до 10 ем.
Настоящий стандарт устанавливает методикупервичной и периодических поверок рельефных мер.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор
мам. линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-1*
ГОСТ Р ИСО 14644-5—2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.1.040—83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие по
ложения
ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в ко
тором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
(Изменонная редакция, Изм. № 1).
* ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1—2002.
Издание официальное
1