ГОСТ Р 8.629—2007
УДК 531.711.7.089:006.354ОКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: рельефные меры нанометровогодиапазона, с трапецеидальным профилем элемен
тов, сканирующий зоидовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика поверки
Редактор U .И. Максииоаа
Технический редактор В.Н. Прусакова
Корре пор Е.Д Дульнваа
Компьютерная верстка В.И. Грищенко
Сдано п набор 31.01.2011. Подписано в печать 08.02.2011. Формат 60x84’/,. Бумага офсетная Гарнитура Ариап.
Печать офсетная. Уел. печ. л. 1.86. Уч.-иад. л. 1.45. Тираж 81 эха. За*. 83.
ФГУП кСТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Мос*аа. Гранатный пер . 4
W A ivgostr1o.ru
info@gostinfo.ru
Набрано во ФГУП кСТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ
Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДЛРТИИФОРМх — тип. «Московский печатни*», 105082 Москва. Лялин лер.. 6