(2 раза), «входящий в комплект поставки атомно-силовою микро
скопа»;
после слов; «с относительной погрешностью нс более 3-10~> допол
нить знаком:
%
(2 раза);
для операции «Определение метрологических характеристик» заме
нить слово; «сканировании» на «сканирования»:
графу «Обязательность проведения операции при поверке* исключить:
примечание к таблице I исключить.
Раздел 5 изложить в новой редакции:
«5 Требования к квалификации поверителей
Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники мет
рологической службы предприятия, аккредитованной в установленном
порядке на право проведения поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную
подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовы
ми микроскопами (далее — ACM) и двухлучевыми лазерными гетеро
динными интерферометрами и знать требования настоящего стан
дарта».
Раздел 6 дополнить абзацем:
«Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям
труда в соответствии с требованиями трудового законодательства*.
Пункт 7.1. Заменить значения: 220!]] В на (220 ± 22 ) В. 50‘ 10 Гц на
(50,0 ±0.4) Га.
Пункт 7.2. Заменить слова: «размещения средств измерений для по
верки рельефных мер» на »в котором размешают средства измерений
для поверки рельефных мер».
Пункт 8.1.2. Исключить слова: «При этом должно быть обеспечено
плотное прилегание нижней плоскости подложки меры к поверхности
рабочего стола ACM*;
дополнить абзацем:
«При установке рельефной меры необходимо обеспечить:
- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабо
чего стола ACM;
- параллельность плоскости, образованной верхним основанием вы
ступа поверяемого элемента рельефной меры, направлению горизон
тального перемещения зонда (иди рабочего стола) ACM. а также орто
гональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего осно
вания выступа с его наклонной стенкой».
Пункт 8.1.3. После слов«Шаговая структура» заменить слово: «повер
хности» на «на поверхности рельефной».
Пункт 8.2.2. Последний абзац. Заменить слово: «Взаимное» на «Такое
взаимное».
Пункт 8.2.3. Первый абзац после слов «При этом» дополнить словом:
«предварительно»;
3