ГОСТ Р 8.629—2007
Т а б л и ц а 1 — Операции и применяемые средства поверки
Наименование
операции
Номер
подраздела
настоя
щего стан
дарта
Наименование средства поверки и его основные
технические и метрологические характеристики
Внешний осмотр
8.1
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400х)
Опробование
8.2
Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп.
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400*).
Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником
излуче
ния — гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирова на
по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определе на с
относительной погрешностью не более 3 -10-7%.8 комплект постав ки
каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала,
предназначенные для формирования опорного и информативного лу
чей. по фазовому сдвигу АФ между которыми определяют перемещение
поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым
микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига
АФ — не более 0.002 рад
Определение мет-
дологических характе-
ристик
8.3
Атомно-силовой микроскоп.
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400*).
Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения
— гелий-меоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по
линии насыщенного поглощения а молекулярном йоде и определена с
относительной погрешностью не более 3 -10-’ %. 8 комплект поставки
каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, пред
назначенные для формирования опорного и информативного лучей, по
фазовомусдвигу ДФ между которыми определяют перемещение поверя
емого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроско
пом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига ДФ — не
более 0.002 рад.
Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными
погрешностями не более:
- температуры окружающей среды — г 0,2 "С:
- относительной влажности воздуха — ± 3 %.
- атмосферного давления — ± 130 Па
(Измененная редакция, Изм. Ns 1).
4.2Допускается применятьдругие средства поверки, точность которых соответствует требовани
ям настоящего стандарта.
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы пред
приятия. аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со
сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее — ACM) и двухлучевыми лазерны
ми гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.
(Измененная редакция, Изм. Ns 1).
6 Требования безопасности
При поверке рельефных мор необходимо соблюдать правила электробезопасности по (3). [4]. тре
бования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования по обеспечению безопасности на рабо
чих местах по ГОСТ 12.2.061, (5). (6).
Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требо
ваниями трудового законодательства.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
3