ГОСТ Р 8.629—2007
и — точка иа оидеолрофиле, соответствующая начальному положение зонда ACM при сканировании; у — точка на видеопрофи-
пе. соответствующая конечному положению зонда при сканировании. Н — высота выступа, измеренная по еидсопрофилю;
L — разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтальною сканирования, соответствующая величине горизонтального
перемещения подвижной части рабочего стола ACM вычисленная по видеолрофилю
Рисунок 2 — Вмдеолрофиль сечения поверяемого элемента рельефной меры, приведенного на рисунке 1(на
правление сканирования — слева направо)
8.3.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерфе
рометра определяют значение горизонтального фазового сдвига лФг в радианах между информатив
ным и опорным лучами этого интерферометра.
8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерфе
рометра определяют значение вертикального фазового сдвига дФв в радианах между информативным и
опорным лучами этого интерферометра.
8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей
электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
8.3.1—8.3.5 (Измененная редакция, Изм. № 1).
8.4 Оформление протокола поверки
Результаты измерений параметров рельефной моры по 8.3.2—8.3.4. а также приведенных на ри
сунке 2. оформляют в виде протокола. Также в протоколеуказываютданные условий поверки до начала и
после окончания измерений по 8.3.1 и 8.3.5.
Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами лоеерки должен храниться как мини
мум до следующей поверки рельефной меры.
(Измененная редакция. Изм. № 1).
9 Обработка результатов измерений
9.1 (Исключон, Изм. N9 1).
9.2 Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM при
сканировании поверяемого элемента рельефа
Горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола AL. нм. от начального до конечно
го положения при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле
г д е — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (форму
ляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;
ДФ, — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.3, рад;
п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей сре
ды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.3Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс
Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель, для оси абсциссвычисляют пофор
муле
где дL — перемещение подвижной части рабочего стола ACM при горизонтальном сканировании, вы
численное по 9.2, нм;
6