ГОСТ Р 8.629—2007
7 Условия поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды ........................................................(20 ± 3) "С.
- относительная влажность воздуха.....................................................не более 80 %.
- атмосферное давление.........................................................................(100 ± 4) кПа:
- напряжение питающей сети..............
...
.................................................(220 ± 22) В;
- частота питающей сети..........................................., .............................(50.0 х 0.4) Гц.
Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна пре
вышать указанных в приложении А.
7.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер,
должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по
взвешенным в воздухе частицам размерами 0.5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ
ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО
14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
7.1, 7.2 (Измененная редакция, Изм. № 1).
7.3 Перед началом поверки необходимо подать напряжение питания на основные средства повер
ки и подготовить их к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.
8 Проведение поверки
8.1 Внешний осмотр
8.1.1 При внешнем осмотре поверяемой рельефной меры должно быть установлено:
- соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную
меру;
- отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транс
портирование рельефной меры.
8.1.2 Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний
осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают
меру на рабочий стол ACM.
При установке рельефной меры необходимо обеспечить:
- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM;
- параллельность плоскости, образованной верхним основанием выступа поверяемого элемента
рельефной меры, направлению горизонтального перемещения зонда (или рабочегостола) ACM. а также
ортогональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего основания выступа с его наклон
ной стенкой.
8.1.3 С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество по
верхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности рельефной мерыдолжна бытьоднородной,
при этом на примерно 75 % поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений
краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа.
8.1.2. 8.1.3 (Измененная редакция, Изм. № 1).
8.2 Опробование
8.2.1 С помощью вспомогательного оптического микроскопа устанавливают зонд ACM в положе
ние, соответствующее началу сканирования поверяемого элемента рельефной меры.
Начальное положение определяют следующим образом: зонд ACM устанавливают на плоскость
нижнегооснования на расстоянии от поверяемого элемента, равном не менее 20 % и не более 50 % ши
рины нижнего основания поверяемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда
ACM при сканировании.
8.2.2 На неподвижном элементе в камере образцовACM устанавливают зеркалолазерного интер
ферометра. предназначенноедляформирования опорного луча, ана рабочем столеACM — другое зер
кало для формирования информативного луча. Лазерный интерферометр (далее — горизонтальный
лазерный интерферометр) располагают вдоль оси. совпадающей с горизонтальным направлением ска
нирования (далее — ось абсцисс).
Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образцов
ACM. Этизеркала предназначены для формирования информативного (наZ-сканере) иопорного (нанепод
вижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера ACM в вертикаль-
4