второй абзаи после слов «по эксплуатации» дополнить словом: «при
меняемых»;
третий абзац изложить в новой редакции, дополнить абзацами:
«- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечива
ют взаимную параллельность направления прохождения информативно
го луча вертикального лазерного интерферометра и направления верти
кального перемещения Z-сканера ACM при сканировании элемента
рельефа:
- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM
и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирова
ния поверяемого элемента, при которых в электронно-фазомстрических
системах интерферометров можно четко регистрировать количество це
лых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям
фа зовых сдвигов между опорными и информативными лучами
горизонталь ною и вертикального интерферометров;
- устанавливают показания Электронно-фазомстрических систем при
меняемых лазерных интерферометров в «нулевое» положение, опреде
ляемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-циф
ровых преобразователей в указанных электронно-фазомстрических сис
темах».
Пункт 8.3.1 изложить в новой редакции:
«8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показа
телей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение
требований, указанных в 7.1».
Пункт 8.3.2. Первый абзац после слов «по эксплуатации» дополнить
словом: «применяемых»; после слова «сканирование» дополнить словом:
«выступа».
Пункты 8.3.3—8.3.5 изложить в новой редакции:
«8.3.3 По показаниям электронно-фазохтстричсской системы горизон
тального лазерного интерферомезра определяют значение горизонталь
ного фазового сдвига Д 0/в радианах между информативным и опорным
лучами этого интерферометра.
8.3.4 По показаниям элсктронно-фаэомстричсской системы вертикаль
ного лазерного интерферометра определяют значение вертикального
фазового сдвига Д
Фк
в радианахмежду информативных! и опорным луча
ми этого интерферометра.
8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показате
лей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение
требований, указанных и 7.1».
Пункт 8.4. Заменить слова: по «8.3.2 и 8.3.3» на по «8.3.2—8.3.4»;
второй абзац дополнить словами: «Протокол с результатами поверки
должен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры».
Пункт 9.1 исключить.
Пункт 9.2. Заголовок и первый абзан после слова «элемента» допол
нить словом: «рельефа»;
-1