ГОСТ Р 8.629—2007
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по РМГ29 [1]. а также следующие термины с соответ
ствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа повер
хности.
3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геомет
рическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется тра
пецией.
3.5 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведе
ния и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения кото
рых выражены в узаконенных единицах и известны с необходимой точностью (1].
3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, ли
нейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.7 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, ли
нейный размер хотя бы одного из которых менее 10"° м.
3.8 рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элемен
тов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой
представляет собой трапецию.
3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.10 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда вдоль выбранного
отрезка на исследуемом объекте с одновременной регистрацией информативного сигнала.
3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на эк
ране монитора микроскопа в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо
пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза на
блюдателя.
3.12 видоопрофиль (информационного сигнала): Графическая зависимость значения инфор
мативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видео
изображения.
3.13 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины иссле
дуемого элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.14 Z-сканор сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устрой
ство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования пе
ремещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под
зондом) в вертикальном направлении.
(Измененная редакция. Изм. № 1).
4 Операции и средства поверки
4.1При проведении первичной ипериодических поверок рельефной меры должны быть выполне
ны операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
2