ГОСТ 32974.1—2016
использовать несколько расходомеров параллельно с клапаном между каждым расходомером и тру
бопроводом. Вместо расходомера иклапана можно использовать измерители массового расхода с про
граммируемой пропускной способностью. Они комбинируются впараллели на трубопроводе.
Герметичность большихрасходомеров бывает часто недостаточной, всвязи с чем рекомендуется
использовать клапан между расходомером имагистралью.
Ионизационные вакуумметры и масс-спектрометры устанавливаются таким образом, чтобы не
было прямой геометрической линии между ними.
ВНИМАНИЕ! Необходимо соблюдать инструкцию производителя по безопасному исполь
зованию вакуумного насоса.
1— измерительная камера; 2 — форвакууыиый насос; 3 — испытываемый насос; 4 — клапан напуска таза; 5 — расходомер
(для измерения О); 6 — вакуумметр (для измерения 7 — нагревательная рубашка (дополнительно); в— вакуумметр (для
измеренияр}); 9 — точкаизмерения температуры Т0
П р и м е ч а н и е — Позиции 2 и 8 используются только при применении форвакуумных насосов.
Рисунок 2 — Схема оборудования для определения быстроты действия методом постоянного потока
5.1.4 Определение быстроты действия
При определении быстроты действия qvметодом постоянного потока производительность Q насо
са измеряется вне измерительной камеры. Если давление р, в измерительной камере (измеряемое
вакуумметром на определенной высоте над впускным фланцем см. рисунок 1) остается постоянным,
быстрота действия доопределяется по формуле
О
1
Qv =
Pi -Р ь ’
( )
гдерь— базовоедавление визмерительной камере (см. 5.4).
Аналогичная формула применяется для определения быстроты действия форвакуумного насоса
9
у
в
р
=
Q
(
2
)
Рз-Рьз
Поток газа можно измерить объемными способами (газовыми бюретками, газовыми счетчиками)с
помощью эффекта вязкости потока (ротаметром, капиллярами) или вбольшинстве случаев с помощью
термоэлектрического массового расходомера.
Из-за влияния температуры на состояние газа, во всех случаях объемных измерений необходим
поправочный коэффициент T^Tf, если температуры Т, расходомера и Г0 измерительной камеры раз
ные.
5